Effect of process parameters on the mechanical properties of carbon nitride thin films synthesized by plasma assisted pulsed laser deposition
Pourquoi ce travail est dans la base
Une base qui oublie comment elle a trouvé un travail ne peut pas être vérifiée. Voici les voies qui ont admis celui-ci.
Notice bibliographique
Résumé
We present an investigation of the effect of the process parameters, namely deposition pressure and laser intensity, on the growth and mechanical properties of carbon nitride (CNx) thin films synthesized by plasma assisted pulsed laser deposition. Deposition at high remote plasma pressure (200 mTorr) enhances both growth rate and nitrogen incorporation (up to 40 at. %), but nano-indentation measurements indicate that these films are very soft and have poor mechanical properties. At low remote plasma pressure (0.5 mTorr), the nitrogen content varies from 24 to 16 at. % with increasing laser intensity as the films become much harder and more elastic, with hardness and Young’s modulus values reaching 24 GPa and 230 GPa, respectively. These effects are explained in terms of a thermalization of the laser plasma at 200 mTorr and indicate that plasma activation of nitrogen does not provide any particular benefit to the film properties when deposition is performed at high pressure. However, at low pressure, the benefit of plasma activation is evidenced through enhanced nitrogen incorporation in the films while preserving the highly energetic species in the ablation plume. Such conditions lead to the synthesis, at room temperature, of hard and elastic films having properties close to those of fullerene-like CNx.
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Prédiction distillée sur la base complète
Imitation des enseignantsNi prévalence calibrée, ni vérité terrain. Validation humaine à venir. Apprise à partir de 10 348 étiquettes directes de Codex et de 10 348 étiquettes directes de Gemma. Le mode candidate est l'union des têtes enseignantes seuillées; le consensus est leur intersection. Ces sorties portent le statut machine_predicted_unvalidated et ne sont ni des étiquettes humaines ni des étiquettes directes de modèles de pointe.
Scores Codex et Gemma par catégorie
| Catégorie | Codex | Gemma |
|---|---|---|
| Métarecherche | 0,001 | 0,001 |
| Méta-épidémiologie (sens strict) | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens large) | 0,000 | 0,000 |
| Bibliométrie | 0,000 | 0,000 |
| Études des sciences et des technologies | 0,000 | 0,000 |
| Communication savante | 0,000 | 0,000 |
| Science ouverte | 0,000 | 0,000 |
| Intégrité de la recherche | 0,000 | 0,000 |
| Charge utile insuffisante (le modèle a refusé de juger) | 0,000 | 0,000 |
Scores machine (provisoires)
Les deux têtes enseignantes du modèle étudiant, lues sur ce travail. Un score ordonne la base pour la relecture; il n'affirme jamais une catégorie, et le statut de validation accompagne chaque rangée tel quel.
Scores de référence d'un modèle non mature (critères de maturité non atteints, 7 itérations). Un score ordonne; il n'affirme jamais une catégorie.
score_only:v0-immature-baseline · tel quel depuis la passe de notation : score_only signifie que le nombre peut ordonner les travaux, et qu'aucune étiquette de catégorie n'en découle