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Enregistrement W2883947141 · doi:10.1088/1361-6668/aae548

Substrate surface engineering for high-quality silicon/aluminum superconducting resonators

2018· article· en· W2883947141 sur OpenAlex

Pourquoi ce travail est dans la base

Une base qui oublie comment elle a trouvé un travail ne peut pas être vérifiée. Voici les voies qui ont admis celui-ci.

affAu moins un auteur déclare une institution canadienne dans l'instantané OpenAlex épinglé.
fundUn bailleur canadien est enregistré sur le travail.

Notice bibliographique

RevueSuperconductor Science and Technology · 2018
Typearticle
Langueen
DomainePhysics and Astronomy
ThématiqueMechanical and Optical Resonators
Établissements canadiensMcMaster UniversityUniversity of Waterloo
Organismes subventionnairesNatural Sciences and Engineering Research Council of CanadaCanada First Research Excellence Fund
Mots-clésResonatorSubstrate (aquarium)MicrowaveSiliconSuperconductivityPlanarHydrofluoric acidQ factor

Résumé

récupéré en direct d'OpenAlex

Abstract Quantum bits (qubits) with long coherence times are an important element for the implementation of medium- and large-scale quantum computers. In the case of superconducting planar qubits, understanding and improving qubits’ quality can be achieved by studying superconducting planar resonators. In this paper, we fabricate and characterize coplanar waveguide resonators made from aluminum thin films deposited on silicon substrates. We perform three different substrate surface treatments prior to aluminum deposition: one chemical treatment based on a hydrofluoric acid clean; one physical treatment consisting of a thermal annealing at 880 °C in high vacuum; and one combined treatment comprising both the chemical and the physical treatments. The aim of these treatments is to remove the two-level state (TLS) defects hosted by the native oxides residing at the various samples’ interfaces. We first characterize the fabricated samples through cross-sectional tunneling electron microscopy, acquiring electron energy loss spectroscopy maps of the samples’ cross sections. These measurements show that both the chemical and the physical treatments almost entirely remove native silicon oxide from the substrate surface and that their combination results in the cleanest interface. Additionally, we analyze the effects of the various substrate treatments on the roughness of the silicon surface by means of atomic force microscopy surface morphology mapping. We then study the quality of the resonators by means of microwave measurements in the ‘quantum regime’, i.e., at a temperature T ∼ 10 mK and at a mean microwave photon number <mml:math xmlns:mml="http://www.w3.org/1998/Math/MathML" overflow="scroll"> <mml:mo stretchy="false">〈</mml:mo> <mml:msub> <mml:mrow> <mml:mi>n</mml:mi> </mml:mrow> <mml:mrow> <mml:mi mathvariant="normal">ph</mml:mi> </mml:mrow> </mml:msub> <mml:mo stretchy="false">〉</mml:mo> <mml:mo>∼</mml:mo> <mml:mn>1</mml:mn> </mml:math> . In this regime, we find that both surface treatments independently improve the resonator’s intrinsic quality factor by ≈172%. The highest quality factor is obtained for the combined treatment, Q i ≈ 0.82 million, corresponding to an improvement by ≈256%. Finally, we find that the TLS quality factor averaged over a time period of 3 h is ∼3 million at <mml:math xmlns:mml="http://www.w3.org/1998/Math/MathML" overflow="scroll"> <mml:mo stretchy="false">〈</mml:mo> <mml:msub> <mml:mrow> <mml:mi>n</mml:mi> </mml:mrow> <mml:mrow> <mml:mi mathvariant="normal">ph</mml:mi> </mml:mrow> </mml:msub> <mml:mo stretchy="false">〉</mml:mo> <mml:mo>∼</mml:mo> <mml:mn>10</mml:mn> </mml:math> , indicating that substrate surface engineering can potentially reduce the TLS loss below other losses such as quasiparticle loss and flux noise.

Récupéré en direct depuis OpenAlex et désinversé. Les résumés ne sont pas conservés dans cette base de données : les index inversés représentent 8,6 Go des 9,3 Go de texte de la base, et le serveur dispose de 13 Go libres.

Prédiction distillée sur la base complète

Imitation des enseignants

Ni prévalence calibrée, ni vérité terrain. Validation humaine à venir. Apprise à partir de 10 348 étiquettes directes de Codex et de 10 348 étiquettes directes de Gemma. Le mode candidate est l'union des têtes enseignantes seuillées; le consensus est leur intersection. Ces sorties portent le statut machine_predicted_unvalidated et ne sont ni des étiquettes humaines ni des étiquettes directes de modèles de pointe.

score de la tête « metaresearch » (Codex)0,001
score de la tête « metaresearch » (Gemma)0,000
Version: codex-gemma-dda1882f352aStatut de validation: machine_predicted_unvalidated
Catégories candidatesaucune
Catégories consensuellesaucune
DomaineSignal candidat: aucune · Signal consensuel: aucune
Devis d'étudeSignal candidat: Expérimental (laboratoire) · Signal consensuel: aucune
GenreSignal candidat: Empirique · Signal consensuel: Empirique
Score de désaccord entre enseignants0,545
Score d'incertitude au seuil0,740

Scores Codex et Gemma par catégorie

CatégorieCodexGemma
Métarecherche0,0010,000
Méta-épidémiologie (sens strict)0,0000,000
Méta-épidémiologie (sens large)0,0000,000
Bibliométrie0,0000,001
Études des sciences et des technologies0,0000,001
Communication savante0,0000,001
Science ouverte0,0000,000
Intégrité de la recherche0,0000,000
Charge utile insuffisante (le modèle a refusé de juger)0,0000,000

Scores machine (provisoires)

Les deux têtes enseignantes du modèle étudiant, lues sur ce travail. Un score ordonne la base pour la relecture; il n'affirme jamais une catégorie, et le statut de validation accompagne chaque rangée tel quel.

Scores de référence d'un modèle non mature (critères de maturité non atteints, 7 itérations). Un score ordonne; il n'affirme jamais une catégorie.

Tête enseignante Opus0,022
Tête enseignante GPT0,281
Écart entre enseignants0,259 · la distance entre les deux têtes enseignantes sur ce seul travail
Statut de validationscore_only:v0-immature-baseline · tel quel depuis la passe de notation : score_only signifie que le nombre peut ordonner les travaux, et qu'aucune étiquette de catégorie n'en découle