Ba <sub>0.6</sub> Sr <sub>0.4</sub> TiO <sub>3</sub> Thin Films Deposited by Spray Coating for High Capacitance Density Capacitors
Notice bibliographique
Résumé
Metal‐insulator‐metal (MIM) capacitors with Ba 0.6 Sr 0.4 TiO 3 (BST) thin films as insulating layers are fabricated using a novel, fast, and low‐cost method. On one hand, the process lies in the swift, continuous, and scalable synthesis of BST nanoparticles using the supercritical fluid technology and, on the other hand, the nonpyrolytic spray coating of thin films using colloidal nanocrystals as ink. The authors focus on the deposition process of thin and uniform layer. A dispersed colloidal suspension based on BST nanoparticles is deposited on a hot copper substrate. A 200 nm thick dielectric film is successfully obtained. Electrical characterizations of Cu/BST/Al MIM structure demonstrate a state‐of‐the‐art capacitance density almost reaching 1 µF cm −2 within an operating voltage range of ±1 V. Moreover, an annealing process of the dielectric layer and the final MIM capacitor at 90 °C during 15 h brings a significant decrease of the leakage current by three decades from mA cm −2 to µA cm −2 .
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Comment cette classification a été obtenuedéplier
Prédiction distillée sur la base complète
Imitation des enseignantsNi prévalence calibrée, ni vérité terrain. Validation humaine à venir. Apprise à partir de 10 348 étiquettes directes de Codex et de 10 348 étiquettes directes de Gemma. Le mode candidate est l'union des têtes enseignantes seuillées; le consensus est leur intersection. Ces sorties portent le statut machine_predicted_unvalidated et ne sont ni des étiquettes humaines ni des étiquettes directes de modèles de pointe.
Scores Codex et Gemma par catégorie
| Catégorie | Codex | Gemma |
|---|---|---|
| Métarecherche | 0,001 | 0,001 |
| Méta-épidémiologie (sens strict) | 0,001 | 0,001 |
| Méta-épidémiologie (sens large) | 0,002 | 0,000 |
| Bibliométrie | 0,000 | 0,001 |
| Études des sciences et des technologies | 0,002 | 0,001 |
| Communication savante | 0,001 | 0,001 |
| Science ouverte | 0,001 | 0,000 |
| Intégrité de la recherche | 0,001 | 0,001 |
| Charge utile insuffisante (le modèle a refusé de juger) | 0,000 | 0,001 |
Scores machine (provisoires)
Les deux têtes enseignantes du modèle étudiant, lues sur ce travail. Un score ordonne la base pour la relecture; il n'affirme jamais une catégorie, et le statut de validation accompagne chaque rangée tel quel.
Scores de référence d'un modèle non mature (critères de maturité non atteints, 7 itérations). Un score ordonne; il n'affirme jamais une catégorie.
score_only:v0-immature-baseline · tel quel depuis la passe de notation : score_only signifie que le nombre peut ordonner les travaux, et qu'aucune étiquette de catégorie n'en découleClassification
machine, non validéePrédiction automatique; un appel candidat d’une seule tête enseignante, pas un consensus.
Le détail, modèle par modèle et score par score, se trouve en fin de page sous « Comment cette classification a été obtenue ».