TEOS layers for low temperature processing of group IV optoelectronic devices
Notice bibliographique
Résumé
The thermal budget is highly critical in processing the emerging group IV Silicon-Germanium-Tin (SiGeSn) optoelectronic devices. These emerging semiconductors exhibit a fundamental direct bandgap covering the mid-infrared range at Sn contents above 10 at. %, which is an order of magnitude higher than the equilibrium solubility. Consequently, the device processing steps must be carried out at temperatures low enough to prevent the degradation of these metastable layers. However, conventional optoelectronic device fabrication methods often require the deposition of dielectric layers at temperatures reaching 400 °C. Although this temperature can be sustained in processing a variety of devices, yet it is sufficiently high to damage GeSn and SiGeSn device structures. With this perspective, the authors investigated the morphological and optical properties of tetraethylorthosilicate (TEOS) layers as an alternative material to conventional dielectric layers. Spin-on-glass deposition on an Si wafer with baking temperatures in the 100–150 °C range leads to high homogeneity and low surface roughness of the TEOS layer. The authors show that the TEOS optical transmission is higher than 90% from visible to mid-infrared wavelengths (0.38–8 μm), combined with the analysis of the real and complex part of the refractive index. Furthermore, the TEOS deposition on GeSn and SiGeSn samples does not affect the material crystallinity or induces clustering of Sn atoms. Therefore, the low deposition temperature and high transparency make TEOS an ideal material for the integration of metastable GeSn and SiGeSn semiconductors in the fabrication of mid-infrared photonic devices.
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Comment cette classification a été obtenuedéplier
Prédiction machine sur la base complète
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Scores du classifieur distillé par catégorie (deux têtes)
| Catégorie | Codex | Gemma |
|---|---|---|
| Métarecherche | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens strict) | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens large) | 0,000 | 0,000 |
| Bibliométrie | 0,000 | 0,000 |
| Études des sciences et des technologies | 0,000 | 0,000 |
| Communication savante | 0,000 | 0,000 |
| Science ouverte | 0,000 | 0,000 |
| Intégrité de la recherche | 0,000 | 0,000 |
| Charge utile insuffisante (le modèle a refusé de juger) | 0,001 | 0,000 |
Scores machine (provisoires)
Les deux têtes enseignantes du modèle étudiant, lues sur ce travail. Un score ordonne la base pour la relecture; il n'affirme jamais une catégorie, et le statut de validation accompagne chaque rangée tel quel.
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score_only:v0-immature-baseline · tel quel depuis la passe de notation : score_only signifie que le nombre peut ordonner les travaux, et qu'aucune étiquette de catégorie n'en découleClassification
machine, non validéePrédiction automatique; un appel candidat d’une seule source (Gemma direct ou Codex distillé), pas un consensus.
Le détail, modèle par modèle et score par score, se trouve en fin de page sous « Comment cette classification a été obtenue ».