Ultrashort pulse laser machining of microchannels in polymers and glass materials for fabrication of a microfluidic optical switch
Notice bibliographique
Résumé
Polymers and glasses are important materials for non-silicon MEMS devices. Precision structuring of such materials has been plagued by the lack of proper tools capable of producing the required intricate details and finish quality. Machining with high peak power, short pulse lasers has become a potential technique for such applications due to the reduced thermal damage, high precision, small feature size and flexibility in pattern generation. In particular, the nanosecond and femtosecond pulsed lasers offer significant advantages with the ability to deposit energy in materials in a very short time interval, hence ensuring efficient conversion of the energy for material removal. In this paper, the results of using femtosecond laser to process polycarbonate, aluminosilicate glasses and nanosecond laser processing of aluminosilicate glasses are discussed. High quality microchannels in polycarbonate and glass substrates for a bubble switch have been created. The critical dimensions are at the micro scale. No cracks or burrs were observed by a scanning electron microscope (SEM). The major processing variables such as cutting speed, energy fluence and power stability were investigated for their effects on machining quality. Microchannels with sub-micron surface roughness and high-aspect ratios were demonstrated. Preliminary testing of a bubble switch, which is based on the thermo-capillary effect, confirmed the working principle of the device; but indicated that the channels would have to be more narrower to achieve greater switching speeds.
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Comment cette classification a été obtenuedéplier
Prédiction distillée sur la base complète
Imitation des enseignantsNi prévalence calibrée, ni vérité terrain. Validation humaine à venir. Apprise à partir de 10 348 étiquettes directes de Codex et de 10 348 étiquettes directes de Gemma. Le mode candidate est l'union des têtes enseignantes seuillées; le consensus est leur intersection. Ces sorties portent le statut machine_predicted_unvalidated et ne sont ni des étiquettes humaines ni des étiquettes directes de modèles de pointe.
Scores Codex et Gemma par catégorie
| Catégorie | Codex | Gemma |
|---|---|---|
| Métarecherche | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens strict) | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens large) | 0,000 | 0,000 |
| Bibliométrie | 0,000 | 0,000 |
| Études des sciences et des technologies | 0,000 | 0,000 |
| Communication savante | 0,000 | 0,000 |
| Science ouverte | 0,000 | 0,000 |
| Intégrité de la recherche | 0,000 | 0,000 |
| Charge utile insuffisante (le modèle a refusé de juger) | 0,000 | 0,000 |
Scores machine (provisoires)
Les deux têtes enseignantes du modèle étudiant, lues sur ce travail. Un score ordonne la base pour la relecture; il n'affirme jamais une catégorie, et le statut de validation accompagne chaque rangée tel quel.
Scores de référence d'un modèle non mature (critères de maturité non atteints, 7 itérations). Un score ordonne; il n'affirme jamais une catégorie.
score_only:v0-immature-baseline · tel quel depuis la passe de notation : score_only signifie que le nombre peut ordonner les travaux, et qu'aucune étiquette de catégorie n'en découleClassification
machine, non validéePrédiction automatique; un appel candidat d’une seule tête enseignante, pas un consensus.
Le détail, modèle par modèle et score par score, se trouve en fin de page sous « Comment cette classification a été obtenue ».