In Situ Synchrotron X‐Ray Diffraction Analysis of Phase Transformation in Epitaxial Metastable hcp Nickel Thin Films, Prepared via Plasma‐Enhanced Atomic Layer Deposition
Notice bibliographique
Résumé
Abstract Ultrathin metal films have a wide variety of applications, especially in microelectronics. A key method to deposit these films is plasma‐enhanced atomic layer deposition (PEALD), which is known for its ability to deposit thin films conformally and at relatively low temperatures. Building on the recent work, an improved recipe is reported on for the development of nickel PEALD technology, through which fully epitaxial nickel thin films are deposited. The effect of continuous heating on the phase structure and agglomeration in the metastable thin films is investigated in this paper. The variations of the phase structure are monitored via in situ synchrotron X‐ray diffraction, as well as optical roughness analysis. The temperature windows for phase transformation and particle formation are determined. It is noted that, after the hcp‐to‐fcc transformation and particle coalescence processes are complete, the particles reshape to acquire the thermodynamically stable shapes dictated by the Wulff theorem. Additionally, a crystallographic orientation relationship between the fcc particles and the sapphire substrate is observed, i.e., Ni (111)||Sapphire(002).
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Comment cette classification a été obtenuedéplier
Prédiction distillée sur la base complète
Imitation des enseignantsNi prévalence calibrée, ni vérité terrain. Validation humaine à venir. Apprise à partir de 10 348 étiquettes directes de Codex et de 10 348 étiquettes directes de Gemma. Le mode candidate est l'union des têtes enseignantes seuillées; le consensus est leur intersection. Ces sorties portent le statut machine_predicted_unvalidated et ne sont ni des étiquettes humaines ni des étiquettes directes de modèles de pointe.
Scores Codex et Gemma par catégorie
| Catégorie | Codex | Gemma |
|---|---|---|
| Métarecherche | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens strict) | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens large) | 0,001 | 0,000 |
| Bibliométrie | 0,000 | 0,000 |
| Études des sciences et des technologies | 0,000 | 0,000 |
| Communication savante | 0,000 | 0,002 |
| Science ouverte | 0,000 | 0,000 |
| Intégrité de la recherche | 0,000 | 0,000 |
| Charge utile insuffisante (le modèle a refusé de juger) | 0,001 | 0,000 |
Scores machine (provisoires)
Les deux têtes enseignantes du modèle étudiant, lues sur ce travail. Un score ordonne la base pour la relecture; il n'affirme jamais une catégorie, et le statut de validation accompagne chaque rangée tel quel.
Scores de référence d'un modèle non mature (critères de maturité non atteints, 7 itérations). Un score ordonne; il n'affirme jamais une catégorie.
score_only:v0-immature-baseline · tel quel depuis la passe de notation : score_only signifie que le nombre peut ordonner les travaux, et qu'aucune étiquette de catégorie n'en découleClassification
machine, non validéePrédiction automatique; un appel candidat d’une seule tête enseignante, pas un consensus.
Le détail, modèle par modèle et score par score, se trouve en fin de page sous « Comment cette classification a été obtenue ».