Hydrogel Microelectromechanical System (MEMS) Resonators: Beyond Cost‐Effective Sensing Platform
Pourquoi ce travail est dans la base
Une base qui oublie comment elle a trouvé un travail ne peut pas être vérifiée. Voici les voies qui ont admis celui-ci.
Notice bibliographique
Résumé
Abstract Mechanical resonators have been used for various applications including timing references, filters, accelerometers, and inertial sensors. Mostly, silicon‐based materials have been thought to be ideal considering robustness and stability and thus used to fabricate micro and nanoscale mechanical resonators. When enhanced sensitivity becomes more important than long‐term stability, materials repertoires other than silicon might be better suited. Herein, a novel manufacturing approach is proposed, which rapidly fabricates microelectromechanical system resonators with hydrogel by single UV exposure via dynamic mask and dry‐state “plugging out” sacrificial process where hydrogel structures are defined by spatially modulated UV light. For practical demonstrations, rectangular cantilevers and closed circular membranes are employed for humidity and pressure sensing applications, respectively. The cost‐effective fabrication route suggested herein not only enables rapid prototyping of suspended hydrogel structures outside a cleanroom, but also offers spatially tunable elastic modulus. Most remarkably, sensitivity enhancement resulting from high swelling rate and/or low elastic modulus exceeds stability deterioration, one of the major concerns for polymeric materials. Such exclusive beneficial features, yet demonstrated with any microfabrication materials and methods or their combinations, open a new avenue for photocurable polymeric materials to be used for specific applications as well as fundamental investigations.
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Prédiction distillée sur la base complète
Imitation des enseignantsNi prévalence calibrée, ni vérité terrain. Validation humaine à venir. Apprise à partir de 10 348 étiquettes directes de Codex et de 10 348 étiquettes directes de Gemma. Le mode candidate est l'union des têtes enseignantes seuillées; le consensus est leur intersection. Ces sorties portent le statut machine_predicted_unvalidated et ne sont ni des étiquettes humaines ni des étiquettes directes de modèles de pointe.
Scores Codex et Gemma par catégorie
| Catégorie | Codex | Gemma |
|---|---|---|
| Métarecherche | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens strict) | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens large) | 0,001 | 0,000 |
| Bibliométrie | 0,000 | 0,000 |
| Études des sciences et des technologies | 0,000 | 0,000 |
| Communication savante | 0,000 | 0,000 |
| Science ouverte | 0,000 | 0,000 |
| Intégrité de la recherche | 0,000 | 0,000 |
| Charge utile insuffisante (le modèle a refusé de juger) | 0,000 | 0,001 |
Scores machine (provisoires)
Les deux têtes enseignantes du modèle étudiant, lues sur ce travail. Un score ordonne la base pour la relecture; il n'affirme jamais une catégorie, et le statut de validation accompagne chaque rangée tel quel.
Scores de référence d'un modèle non mature (critères de maturité non atteints, 7 itérations). Un score ordonne; il n'affirme jamais une catégorie.
score_only:v0-immature-baseline · tel quel depuis la passe de notation : score_only signifie que le nombre peut ordonner les travaux, et qu'aucune étiquette de catégorie n'en découle