Silicon waveguide integrated with a tellurium oxide whispering gallery resonator on chip (Conference Presentation)
Notice bibliographique
Résumé
Tellurite glasses have promising material properties in applications for linear and nonlinear integrated optical devices. Tellurite glasses have high rare earth solubilities for applications in rare earth doped lasers as well as high nonlinear refractive indices, Raman gain coefficients and acousto-optic figures of merit. However, it is difficult to take advantage of tellurite glass properties in silicon photonics, as the waveguiding materials available for use in silicon photonic devices are typically limited to silicon, silicon dioxide, silicon nitride, and germanium. Here, we report on a tellurium oxide whispering gallery resonator, integrated onto a silicon photonic chip and coupled to a silicon waveguide. The silicon waveguides are fabricated using a standard foundry process and the cladding oxide is etched in a ring shape with precise alignment to the bus waveguides at gaps from 0.2 to 1.0 μm to form the cavity. Post processing deposition of a tellurium oxide film coats the bottom of the etched oxide cavity, forming a tellurium oxide waveguiding layer, into which light can be coupled from the silicon waveguide. A resonator with a radius of 40 μm and a 1.1-μm-thick tellurium oxide coating is measured to have an internal Q-factor of greater than 1E5. These results illustrate the potential for integration of tellurite glass devices into silicon photonic microsystems. Applications of this cavity structure in optical sensing, design considerations and methods to improve performance will be discussed.
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Comment cette classification a été obtenuedéplier
Prédiction machine sur la base complète
Imitation des enseignantsNi prévalence calibrée, ni vérité terrain. Validation humaine à venir. Le volet Gemma est une étiquette directe du modèle pour chaque travail de la base, lue sur la notice réduite au titre. Le volet Codex est un classifieur appris des 10 348 étiquettes directes de Codex et calibré sur les taux pondérés de l'échantillon; les champs sans appui suffisant ne portent aucun appel Codex. Le mode candidate est l'union des deux volets; le consensus est leur intersection. Ces sorties portent le statut machine_predicted_unvalidated et ne sont pas des étiquettes humaines.
Scores du classifieur distillé par catégorie (deux têtes)
| Catégorie | Codex | Gemma |
|---|---|---|
| Métarecherche | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens strict) | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens large) | 0,000 | 0,001 |
| Bibliométrie | 0,000 | 0,000 |
| Études des sciences et des technologies | 0,000 | 0,000 |
| Communication savante | 0,000 | 0,000 |
| Science ouverte | 0,001 | 0,000 |
| Intégrité de la recherche | 0,001 | 0,000 |
| Charge utile insuffisante (le modèle a refusé de juger) | 0,003 | 0,001 |
Scores machine (provisoires)
Les deux têtes enseignantes du modèle étudiant, lues sur ce travail. Un score ordonne la base pour la relecture; il n'affirme jamais une catégorie, et le statut de validation accompagne chaque rangée tel quel.
Scores de référence d'un modèle non mature (critères de maturité non atteints, 7 itérations). Un score ordonne; il n'affirme jamais une catégorie.
score_only:v0-immature-baseline · tel quel depuis la passe de notation : score_only signifie que le nombre peut ordonner les travaux, et qu'aucune étiquette de catégorie n'en découleClassification
machine, non validéePrédiction automatique; un appel candidat d’une seule source (Gemma direct ou Codex distillé), pas un consensus.
Le détail, modèle par modèle et score par score, se trouve en fin de page sous « Comment cette classification a été obtenue ».