Effects of Au catalyst geometry on Ge films grown laterally on Si using the vapor–liquid–solid mechanism
Notice bibliographique
Résumé
Abstract A lateral epitaxial growth technique has been demonstrated to grow high-quality Ge micro-films on Si at low temperatures using the vapor–liquid–solid mechanism. These Ge films were grown within a confined structure to foster horizontal growth in the presence of Au catalyst. In this work the size and geometric shape of the Au catalyst were shown to impact the film size and morphology. In particular, a general trend was observed, as the size of Au catalyst increased the Ge film size initially increased as well until the Ge film size plateaued and eventually decreased. This phenomenon is described by a model, which is a function of Au catalyst size and GeH 4 dose and can be used to estimate the final Ge film size. In general, a large-sized Au catalyst absorbs more Ge because of its large vapor–liquid interface but it also requires more Ge to saturate the liquid, and therefore this fact results in a peak in the plot of the Ge film size versus the Au size. In addition, a large GeH 4 dose due to more absorption of GeH 4 leads to multiple nucleation sites in a small Au catalyst, while a micro-crucible with a larger Au volume or reduced vapor–liquid interface can help to realize single nucleation. These results helped in designing two-opening Au catalysts with asymmetric sides, which preferentially nucleates a large crystal near the wider side.
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Comment cette classification a été obtenuedéplier
Prédiction distillée sur la base complète
Imitation des enseignantsNi prévalence calibrée, ni vérité terrain. Validation humaine à venir. Apprise à partir de 10 348 étiquettes directes de Codex et de 10 348 étiquettes directes de Gemma. Le mode candidate est l'union des têtes enseignantes seuillées; le consensus est leur intersection. Ces sorties portent le statut machine_predicted_unvalidated et ne sont ni des étiquettes humaines ni des étiquettes directes de modèles de pointe.
Scores Codex et Gemma par catégorie
| Catégorie | Codex | Gemma |
|---|---|---|
| Métarecherche | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens strict) | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens large) | 0,000 | 0,000 |
| Bibliométrie | 0,000 | 0,000 |
| Études des sciences et des technologies | 0,000 | 0,000 |
| Communication savante | 0,000 | 0,000 |
| Science ouverte | 0,000 | 0,000 |
| Intégrité de la recherche | 0,000 | 0,000 |
| Charge utile insuffisante (le modèle a refusé de juger) | 0,000 | 0,000 |
Scores machine (provisoires)
Les deux têtes enseignantes du modèle étudiant, lues sur ce travail. Un score ordonne la base pour la relecture; il n'affirme jamais une catégorie, et le statut de validation accompagne chaque rangée tel quel.
Scores de référence d'un modèle non mature (critères de maturité non atteints, 7 itérations). Un score ordonne; il n'affirme jamais une catégorie.
score_only:v0-immature-baseline · tel quel depuis la passe de notation : score_only signifie que le nombre peut ordonner les travaux, et qu'aucune étiquette de catégorie n'en découleClassification
machine, non validéePrédiction automatique; un appel candidat d’une seule tête enseignante, pas un consensus.
Le détail, modèle par modèle et score par score, se trouve en fin de page sous « Comment cette classification a été obtenue ».