Highly efficient p-type doping of GaN under nitrogen-rich and low-temperature conditions by plasma-assisted molecular beam epitaxy
Notice bibliographique
Résumé
Highly efficient and reproducible p-type doping of GaN under nitrogen-rich and low-growth-temperature conditions was demonstrated with the plasma-assisted molecular beam epitaxy technique. The low-temperature range is approximately below 650 °C and refers to growth temperatures at which the thermal desorption of any excess Ga is negligibly slow. The Mg and hole concentrations obtained with the N-rich condition were more than one order of magnitude higher than those obtained with the Ga-rich condition while keeping all other conditions identical. The Mg doping under such N-rich conditions was also found to show Mg-mediated suppression of background impurities, good epitaxy quality on GaN templates, and relatively low surface roughness. Over the investigated growth temperature range from 580 °C to 650 °C, the Mg incorporation efficiency under the N-rich condition was found to be close to unity (70%-80%) and independent of the growth temperature. High hole concentrations of up to 2×1019 cm-3 and activation efficiencies of up to 16.6% were obtained. The result rules out the Mg surface sticking probability as the limiting mechanism for Mg incorporation in this temperature range, as it would be temperature dependent. Instead, the Mg incorporation rate was more likely governed by the availability of substitutional sites for Mg on the surface, which should be abundant under the N-rich growth conditions. Excellent diode characteristics and electroluminescence results were observed when this p-type doping method was employed in the growth of full device structures.
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Comment cette classification a été obtenuedéplier
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Imitation des enseignantsNi prévalence calibrée, ni vérité terrain. Validation humaine à venir. Apprise à partir de 10 348 étiquettes directes de Codex et de 10 348 étiquettes directes de Gemma. Le mode candidate est l'union des têtes enseignantes seuillées; le consensus est leur intersection. Ces sorties portent le statut machine_predicted_unvalidated et ne sont ni des étiquettes humaines ni des étiquettes directes de modèles de pointe.
Scores Codex et Gemma par catégorie
| Catégorie | Codex | Gemma |
|---|---|---|
| Métarecherche | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens strict) | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens large) | 0,000 | 0,000 |
| Bibliométrie | 0,000 | 0,000 |
| Études des sciences et des technologies | 0,000 | 0,000 |
| Communication savante | 0,000 | 0,000 |
| Science ouverte | 0,000 | 0,000 |
| Intégrité de la recherche | 0,000 | 0,000 |
| Charge utile insuffisante (le modèle a refusé de juger) | 0,000 | 0,000 |
Scores machine (provisoires)
Les deux têtes enseignantes du modèle étudiant, lues sur ce travail. Un score ordonne la base pour la relecture; il n'affirme jamais une catégorie, et le statut de validation accompagne chaque rangée tel quel.
Scores de référence d'un modèle non mature (critères de maturité non atteints, 7 itérations). Un score ordonne; il n'affirme jamais une catégorie.
score_only:v0-immature-baseline · tel quel depuis la passe de notation : score_only signifie que le nombre peut ordonner les travaux, et qu'aucune étiquette de catégorie n'en découleClassification
machine, non validéePrédiction automatique; un appel candidat d’une seule tête enseignante, pas un consensus.
Le détail, modèle par modèle et score par score, se trouve en fin de page sous « Comment cette classification a été obtenue ».