Monolithic Fabrication of NPN/SiN<i><sub>x</sub></i> Dual Membrane Cavity for Nanopore‐Based DNA Sensing
Pourquoi ce travail est dans la base
Une base qui oublie comment elle a trouvé un travail ne peut pas être vérifiée. Voici les voies qui ont admis celui-ci.
Notice bibliographique
Résumé
Abstract Nanoscale preconfinement of DNA is shown to reduce the variation of passage times through solid‐state nanopores. Preconfinement is previously achieved by forming a femtoliter‐sized cavity capped with a highly porous layer of nanoporous silicon nitride (NPN). This cavity is formed by sealing a NPN nanofilter membrane against a substrate chip using water vapor delamination. Ultimately, this method of fabrication cannot keep a consistent spacing between the filter and solid‐state nanopore due to thermal fluctuations and wrinkles in the membrane, nor can it be fabricated on thousands of individual devices reliably. To overcome these issues, a method is presented to fabricate the femtoliter cavity monolithically, using a selective xenon difluoride (XeF 2 ) etch to hollow out a polysilicon (poly‐Si) spacer sandwiched between silicon nitride (SiN x ) layers. These monolithically fabricated cavities behave identically to their counterparts formed by vapor delamination, exhibiting similar translocation passage time variation reduction and folding suppression of DNA without requiring extensive manual assembly. The ability to form nanocavity sensors with nanometer‐scale precision and to reliably manufacture them at scale using batch wafer processing techniques will find numerous applications, including motion control of polymers for single‐molecule detection applications, filtering of dirty samples prior to nanopore detection, and simple fabrication of single‐molecule nanobioreactors.
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Prédiction distillée sur la base complète
Imitation des enseignantsNi prévalence calibrée, ni vérité terrain. Validation humaine à venir. Apprise à partir de 10 348 étiquettes directes de Codex et de 10 348 étiquettes directes de Gemma. Le mode candidate est l'union des têtes enseignantes seuillées; le consensus est leur intersection. Ces sorties portent le statut machine_predicted_unvalidated et ne sont ni des étiquettes humaines ni des étiquettes directes de modèles de pointe.
Scores Codex et Gemma par catégorie
| Catégorie | Codex | Gemma |
|---|---|---|
| Métarecherche | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens strict) | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens large) | 0,001 | 0,000 |
| Bibliométrie | 0,000 | 0,000 |
| Études des sciences et des technologies | 0,000 | 0,000 |
| Communication savante | 0,000 | 0,000 |
| Science ouverte | 0,000 | 0,000 |
| Intégrité de la recherche | 0,000 | 0,000 |
| Charge utile insuffisante (le modèle a refusé de juger) | 0,000 | 0,000 |
Scores machine (provisoires)
Les deux têtes enseignantes du modèle étudiant, lues sur ce travail. Un score ordonne la base pour la relecture; il n'affirme jamais une catégorie, et le statut de validation accompagne chaque rangée tel quel.
Scores de référence d'un modèle non mature (critères de maturité non atteints, 7 itérations). Un score ordonne; il n'affirme jamais une catégorie.
score_only:v0-immature-baseline · tel quel depuis la passe de notation : score_only signifie que le nombre peut ordonner les travaux, et qu'aucune étiquette de catégorie n'en découle