Diagnostics spectroscopiques de plasmas RF en régime de pulvérisation physique et en présence de générations successives de poussières dans les chimies organosiliciées
Notice bibliographique
Résumé
Les travaux de recherche présentés dans cette thèse de doctorat caractérisent, premièrement de manière isolée puis combinée, les processus de dépôt de couches minces par pulvérisation physique d’une cible d’argent et par ajout d’un précurseur organosilicié. En régime de pulvérisation physique, nous avons notamment montré à partir de mesures par spectrométrie de masse que la fonction de distribution en énergie des ions au voisinage du substrat peut présenter une queue énergétique, un effet que nous avons aussi pu modéliser en considérant la thermalisation incomplète des espèces pulvérisées suivant leurs interactions avec les espèces du plasma. Une nouvelle méthode pour le calcul du rendement de pulvérisation des atomes de la cible basée sur l’analyse de mesures de sonde de Langmuir et d’émission optique a également été mise au point. Celle-ci a par la suite été utilisée pour caractériser le phénomène d’empoisonnement de la cible d’argent causé par l’ajout du précurseur hexaméthyldisiloxane (HMDSO). Dans ce régime hybride, nous avons confirmé la pertinence d’une injection pulsée du précurseur pour réduire l’empoisonnement. Finalement, la croissance de nanoparticules, ou poussières, dans les plasmas hybrides contenant une cible d’argent et le précurseur HMDSO injecté de manière pulsée est étudiée à la fois par des mesures de spectroscopie optique d’émission couplée à un modèle collisionnel-radiatif et par des mesures de spectrométrie de masse. Dans ces conditions, le plasma est caractérisé par une dynamique à plusieurs échelles temporelles; l’injection pulsée du précurseur se déroule sur des périodes de 5 secondes alors que le cycle complet de formation et de disparition des poussières prend plusieurs centaines de secondes. Cette évolution multi-échelle permet de séparer les phénomènes et de correctement caractériser l’impact de l’HMDSO et de la formation de poussières sur les propriétés fondamentales du plasma, en particulier la densité et la température des électrons, la population des atomes dans un niveau métastable, ainsi que la cinétique de fragmentation de la molécule mère. Le rôle des parois et des électrodes dans la dynamique de formation d’hydrocarbures agissant comme précurseur à la formation de nanoparticules est également démontré.
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Comment cette classification a été obtenuedéplier
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Imitation des enseignantsNi prévalence calibrée, ni vérité terrain. Validation humaine à venir. Apprise à partir de 10 348 étiquettes directes de Codex et de 10 348 étiquettes directes de Gemma. Le mode candidate est l'union des têtes enseignantes seuillées; le consensus est leur intersection. Ces sorties portent le statut machine_predicted_unvalidated et ne sont ni des étiquettes humaines ni des étiquettes directes de modèles de pointe.
Scores Codex et Gemma par catégorie
| Catégorie | Codex | Gemma |
|---|---|---|
| Métarecherche | 0,001 | 0,001 |
| Méta-épidémiologie (sens strict) | 0,001 | 0,001 |
| Méta-épidémiologie (sens large) | 0,000 | 0,000 |
| Bibliométrie | 0,000 | 0,000 |
| Études des sciences et des technologies | 0,005 | 0,001 |
| Communication savante | 0,000 | 0,001 |
| Science ouverte | 0,001 | 0,000 |
| Intégrité de la recherche | 0,001 | 0,001 |
| Charge utile insuffisante (le modèle a refusé de juger) | 0,000 | 0,000 |
Scores machine (provisoires)
Les deux têtes enseignantes du modèle étudiant, lues sur ce travail. Un score ordonne la base pour la relecture; il n'affirme jamais une catégorie, et le statut de validation accompagne chaque rangée tel quel.
Scores de référence d'un modèle non mature (critères de maturité non atteints, 7 itérations). Un score ordonne; il n'affirme jamais une catégorie.
score_only:v0-immature-baseline · tel quel depuis la passe de notation : score_only signifie que le nombre peut ordonner les travaux, et qu'aucune étiquette de catégorie n'en découleClassification
machine, non validéePrédiction automatique; un appel candidat d’une seule tête enseignante, pas un consensus.
Le détail, modèle par modèle et score par score, se trouve en fin de page sous « Comment cette classification a été obtenue ».