Characterization of Near-Interface Traps at Dielectric/SiC Interfaces Using CCDLTS
Notice bibliographique
Résumé
Charge trapping at 4H-SiC/dielectric interfaces in 4H-SiC MOS capacitors has been investigated using constant capacitance deep level transient spectroscopy (CCDLTS). The experiments were focused on further understanding of the following aspects related to 4H-SiC/SiO 2 interfaces: (i) Origin of near interface oxide traps (NITs), (ii) Effect of interfacial impurity/passivation methods and (iii) Characterization of near-interface oxide traps for different SiC wafer orientations. For the (0001) Si-face 4H-SiC/ SiO 2 interface, two types of NITs are typically detected by CCDLTS, named ‘O1’ and ‘O2’ traps with emission activation energies of about 0.15±0.05 eV and 0.39±0.1 eV respectively below the 4H-SiC conduction band. Based on comparison with previous ab initio calculations, the physical identities of these defects have been suggested to be carbon dimers substituted for O dimers (‘O1’) and interstitial silicon atoms (‘O2’) in the near interfacial SiO 2 respectively. In this work, it is shown for the first time that such traps are not observed for 4H-SiC/ Al 2 O 3 interfaces, proving that these traps are inherent to the near-interfacial SiO 2 . In addition, the summary of CCDLTS results for Si-face with different interface trap passivation methods are included in this study. Finally, a comparison is presented for NO annealed (0001) Si-face, (11-20) a-face and (000-1) C-face interfaces that highlight the difference of CCDLTS signatures for the different crystal faces.
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Scores Codex et Gemma par catégorie
| Catégorie | Codex | Gemma |
|---|---|---|
| Métarecherche | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens strict) | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens large) | 0,000 | 0,000 |
| Bibliométrie | 0,000 | 0,000 |
| Études des sciences et des technologies | 0,000 | 0,000 |
| Communication savante | 0,000 | 0,001 |
| Science ouverte | 0,000 | 0,000 |
| Intégrité de la recherche | 0,000 | 0,000 |
| Charge utile insuffisante (le modèle a refusé de juger) | 0,000 | 0,000 |
Scores machine (provisoires)
Les deux têtes enseignantes du modèle étudiant, lues sur ce travail. Un score ordonne la base pour la relecture; il n'affirme jamais une catégorie, et le statut de validation accompagne chaque rangée tel quel.
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score_only:v0-immature-baseline · tel quel depuis la passe de notation : score_only signifie que le nombre peut ordonner les travaux, et qu'aucune étiquette de catégorie n'en découleClassification
machine, non validéePrédiction automatique; un appel candidat d’une seule tête enseignante, pas un consensus.
Le détail, modèle par modèle et score par score, se trouve en fin de page sous « Comment cette classification a été obtenue ».