Plasma-Enhanced Atomic Layer Deposition of Nanostructured Gold Near Room Temperature
Notice bibliographique
Résumé
plasma as the reactant. The process has a deposition window from 50 to 120 °C with a growth rate of 0.030 ± 0.002 nm per cycle on gold seed layers, and it shows saturating behavior for both the precursor and reactant exposure. X-ray photoelectron spectroscopy measurements show that the gold films deposited at 120 °C are of higher purity than the previously reported ones (<1 at. % carbon and oxygen impurities and <0.1 at. % phosphorous). A low resistivity value was obtained (5.9 ± 0.3 μΩ cm), and X-ray diffraction measurements confirm that films deposited at 50 and 120 °C are polycrystalline. The process forms gold nanoparticles on oxide surfaces, which coalesce into wormlike nanostructures during deposition. Nanostructures grown at 120 °C are evaluated as substrates for free-space surface-enhanced Raman spectroscopy (SERS) and exhibit an excellent enhancement factor that is without optimization, only one order of magnitude weaker than state-of-the-art gold nanodome substrates. The reported gold PE-ALD process therefore offers a deposition method to create SERS substrates that are template-free and does not require lithography. Using this process, it is possible to deposit nanostructured gold layers at low temperatures on complex three-dimensional (3D) substrates, opening up opportunities for the application of gold ALD in flexible electronics, heterogeneous catalysis, or the preparation of 3D SERS substrates.
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Comment cette classification a été obtenuedéplier
Prédiction distillée sur la base complète
Imitation des enseignantsNi prévalence calibrée, ni vérité terrain. Validation humaine à venir. Apprise à partir de 10 348 étiquettes directes de Codex et de 10 348 étiquettes directes de Gemma. Le mode candidate est l'union des têtes enseignantes seuillées; le consensus est leur intersection. Ces sorties portent le statut machine_predicted_unvalidated et ne sont ni des étiquettes humaines ni des étiquettes directes de modèles de pointe.
Scores Codex et Gemma par catégorie
| Catégorie | Codex | Gemma |
|---|---|---|
| Métarecherche | 0,001 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens strict) | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens large) | 0,001 | 0,000 |
| Bibliométrie | 0,000 | 0,000 |
| Études des sciences et des technologies | 0,000 | 0,000 |
| Communication savante | 0,001 | 0,001 |
| Science ouverte | 0,001 | 0,001 |
| Intégrité de la recherche | 0,000 | 0,000 |
| Charge utile insuffisante (le modèle a refusé de juger) | 0,002 | 0,002 |
Scores machine (provisoires)
Les deux têtes enseignantes du modèle étudiant, lues sur ce travail. Un score ordonne la base pour la relecture; il n'affirme jamais une catégorie, et le statut de validation accompagne chaque rangée tel quel.
Scores de référence d'un modèle non mature (critères de maturité non atteints, 7 itérations). Un score ordonne; il n'affirme jamais une catégorie.
score_only:v0-immature-baseline · tel quel depuis la passe de notation : score_only signifie que le nombre peut ordonner les travaux, et qu'aucune étiquette de catégorie n'en découleClassification
machine, non validéePrédiction automatique; les deux têtes enseignantes s’accordent sur ce qui est montré ici.
Le détail, modèle par modèle et score par score, se trouve en fin de page sous « Comment cette classification a été obtenue ».