Development of Doped Silicon Multi-Element Stress Sensor Rosette With Temperature Compensation
Notice bibliographique
Résumé
In this paper, a developed n-type piezoresistive three dimensional (3D) stress sensor with full temperature compensation is presented. The proposed sensing rosette benefits from the stress insensitivity of the full-circular n-type piezoresistor, oriented over (111) silicon plane, to detect only temperature changes for compensation. Moreover, the unique behavior of shear piezoresistive coefficient (π44) of n-Si is utilized to construct a piezorestive stress sensing rosette over (111) silicon plane that is capable of extracting 3D stress components. A prototype stress sensing chip was microfabricatedto test the capabilityof the developedsensing rosette to accurately extract stress applied on structures at different thermal environments. The fabricated sensing chip was subjected to different mechanical loads using a loading rig with four-point bending fixture. The testing was carried out over a temperature range of 0-50 °C. The results showed that the proposed sensing chip has the capability of capturing the stress applied at different temperatures. Also, the developed sensing rosette showed less sensitivity to the uncertainty in piezoresistive coefficients' values compared to the other developed 3D piezoresistive stress sensors.
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Comment cette classification a été obtenuedéplier
Prédiction distillée sur la base complète
Imitation des enseignantsNi prévalence calibrée, ni vérité terrain. Validation humaine à venir. Apprise à partir de 10 348 étiquettes directes de Codex et de 10 348 étiquettes directes de Gemma. Le mode candidate est l'union des têtes enseignantes seuillées; le consensus est leur intersection. Ces sorties portent le statut machine_predicted_unvalidated et ne sont ni des étiquettes humaines ni des étiquettes directes de modèles de pointe.
Scores Codex et Gemma par catégorie
| Catégorie | Codex | Gemma |
|---|---|---|
| Métarecherche | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens strict) | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens large) | 0,000 | 0,000 |
| Bibliométrie | 0,000 | 0,000 |
| Études des sciences et des technologies | 0,000 | 0,000 |
| Communication savante | 0,000 | 0,000 |
| Science ouverte | 0,000 | 0,000 |
| Intégrité de la recherche | 0,000 | 0,000 |
| Charge utile insuffisante (le modèle a refusé de juger) | 0,000 | 0,000 |
Scores machine (provisoires)
Les deux têtes enseignantes du modèle étudiant, lues sur ce travail. Un score ordonne la base pour la relecture; il n'affirme jamais une catégorie, et le statut de validation accompagne chaque rangée tel quel.
Scores de référence d'un modèle non mature (critères de maturité non atteints, 7 itérations). Un score ordonne; il n'affirme jamais une catégorie.
score_only:v0-immature-baseline · tel quel depuis la passe de notation : score_only signifie que le nombre peut ordonner les travaux, et qu'aucune étiquette de catégorie n'en découleClassification
machine, non validéePrédiction automatique; un appel candidat d’une seule tête enseignante, pas un consensus.
Le détail, modèle par modèle et score par score, se trouve en fin de page sous « Comment cette classification a été obtenue ».