Characteristics of CVD Grown Diamond Films on Langasite Substrates
Notice bibliographique
Résumé
Surface acoustic wave (SAW) devices consist of a piezoelectric substrate with interdigitated (IDT) electrodes. These devices can be used to fabricate wireless and passive sensors that can be mounted in remote and/or inaccessible places. If encapsulated with CVD diamond, the SAW devices can be made to operate under extremely hostile conditions. The piezoelectric layer (AlN, ZnO etc.) deposited on the diamond or an inverse system can increase the frequency of the SAW device. Most piezoelectric materials (such as quartz) show phase transition temperatures below diamond deposition temperature (650o-1100ºC), preventing their use as a substrate for diamond growth. Langasite La3Ga5SiO14 (LGS) is recently fabricated piezoelectric material that can withstand high temperatures without being deteriorated. LGS does not have phase transitions up to its melting point of 1470 °C. Here we report the deposition of diamond films by microwave plasma CVD in methane-hydrogen gas mixtures on polished and rough surfaces of the LGS substrates seeded with nanodiamonds. No buffer layer between the substrate and the coating had been used. The effect of substrate pretreatment (PT) was also investigated on the growth behaviour of diamond films on LGS. The resulting films are characterised by Raman spectroscopy, X-ray diffraction (XRD), field-emission scanning electron microscopy (FESEM), X-ray photoelectron spectroscopy (XPS). The effect of substrate roughness on the growth behaviour was found to favour bigger grain sizes on the unpolished substrates. Whereas, the effect of substrate pretreatment (PT) was found to produce unique microstructural features with better polycrystalline diamond (PCD) quality than on the substrates without PT. Raman signals confirm the deposition of PCD in all the cases but the X-ray results interestingly show new phase formation of hcp and rhombohedral diamond lattice structures under CVD growth environment.
Récupéré en direct depuis OpenAlex et désinversé. Les résumés ne sont pas conservés dans cette base de données : les index inversés représentent 8,6 Go des 9,3 Go de texte de la base, et le serveur dispose de 13 Go libres.
Comment cette classification a été obtenuedéplier
Prédiction machine sur la base complète
Imitation des enseignantsNi prévalence calibrée, ni vérité terrain. Validation humaine à venir. Le volet Gemma est une étiquette directe du modèle pour chaque travail de la base, lue sur la notice réduite au titre. Le volet Codex est un classifieur appris des 10 348 étiquettes directes de Codex et calibré sur les taux pondérés de l'échantillon; les champs sans appui suffisant ne portent aucun appel Codex. Le mode candidate est l'union des deux volets; le consensus est leur intersection. Ces sorties portent le statut machine_predicted_unvalidated et ne sont pas des étiquettes humaines.
Scores du classifieur distillé par catégorie (deux têtes)
| Catégorie | Codex | Gemma |
|---|---|---|
| Métarecherche | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens strict) | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens large) | 0,000 | 0,000 |
| Bibliométrie | 0,000 | 0,000 |
| Études des sciences et des technologies | 0,000 | 0,000 |
| Communication savante | 0,000 | 0,000 |
| Science ouverte | 0,000 | 0,000 |
| Intégrité de la recherche | 0,000 | 0,000 |
| Charge utile insuffisante (le modèle a refusé de juger) | 0,003 | 0,000 |
Scores machine (provisoires)
Les deux têtes enseignantes du modèle étudiant, lues sur ce travail. Un score ordonne la base pour la relecture; il n'affirme jamais une catégorie, et le statut de validation accompagne chaque rangée tel quel.
Scores de référence d'un modèle non mature (critères de maturité non atteints, 7 itérations). Un score ordonne; il n'affirme jamais une catégorie.
score_only:v0-immature-baseline · tel quel depuis la passe de notation : score_only signifie que le nombre peut ordonner les travaux, et qu'aucune étiquette de catégorie n'en découleClassification
machine, non validéePrédiction automatique; un appel candidat d’une seule source (Gemma direct ou Codex distillé), pas un consensus.
Le détail, modèle par modèle et score par score, se trouve en fin de page sous « Comment cette classification a été obtenue ».