Wafer-bonded surface plasmon waveguide sensors with in-plane microfluidic interfaces
Notice bibliographique
Résumé
Abstract Sensors exploiting long-range surface plasmon polariton (LRSPP) waveguides comprised of Au stripes embedded in Cytop with integrated and encapsulated microfluidic channels are fabricated and demonstrated. A fabrication approach was devised where the lower cladding and recessed Au stripes are fabricated on a Si supporting substrate, and the upper cladding and microfluidic channels are fabricated on a glass substrate, followed by wafer bonding to assemble the wafers into complete sealed structures. The bond is centered over the full length of the optical path, yet no evidence of optical scattering or excess loss due to the bond could be observed, and no evidence of a bonding interface could be discerned from high-magnification cross-sectional images. We also demonstrate wafer-scale fabrication of in-plane microfluidic inlets and outlets, along with a fixture for fluidic edge coupling that provides sealed interfaces to external fluidic tubing and components. In-plane microfluidic interfaces are automatically defined along chip facets upon wafer dicing, precluding the need to drill through holes in lids. The performance of the chips was assessed by measuring the attenuation of LRSPPs on fully cladded reference waveguides, on waveguides passing through microfluidic channels, and by measuring the response of sensors to changes in refractive index produced by injecting various sensing solutions. Our fabrication approach based on wafer bonding and in-plane fluidic interfacing is compelling for low-cost high-volume manufacturing.
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Comment cette classification a été obtenuedéplier
Prédiction distillée sur la base complète
Imitation des enseignantsNi prévalence calibrée, ni vérité terrain. Validation humaine à venir. Apprise à partir de 10 348 étiquettes directes de Codex et de 10 348 étiquettes directes de Gemma. Le mode candidate est l'union des têtes enseignantes seuillées; le consensus est leur intersection. Ces sorties portent le statut machine_predicted_unvalidated et ne sont ni des étiquettes humaines ni des étiquettes directes de modèles de pointe.
Scores Codex et Gemma par catégorie
| Catégorie | Codex | Gemma |
|---|---|---|
| Métarecherche | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens strict) | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens large) | 0,001 | 0,000 |
| Bibliométrie | 0,000 | 0,000 |
| Études des sciences et des technologies | 0,000 | 0,000 |
| Communication savante | 0,000 | 0,000 |
| Science ouverte | 0,000 | 0,000 |
| Intégrité de la recherche | 0,000 | 0,001 |
| Charge utile insuffisante (le modèle a refusé de juger) | 0,000 | 0,000 |
Scores machine (provisoires)
Les deux têtes enseignantes du modèle étudiant, lues sur ce travail. Un score ordonne la base pour la relecture; il n'affirme jamais une catégorie, et le statut de validation accompagne chaque rangée tel quel.
Scores de référence d'un modèle non mature (critères de maturité non atteints, 7 itérations). Un score ordonne; il n'affirme jamais une catégorie.
score_only:v0-immature-baseline · tel quel depuis la passe de notation : score_only signifie que le nombre peut ordonner les travaux, et qu'aucune étiquette de catégorie n'en découleClassification
machine, non validéePrédiction automatique; un appel candidat d’une seule tête enseignante, pas un consensus.
Le détail, modèle par modèle et score par score, se trouve en fin de page sous « Comment cette classification a été obtenue ».