Hydrogen Sensing with Long-Range Surface Plasmon Membrane Waveguides
Notice bibliographique
Résumé
This integrated article thesis presents the full design, fabrication, characterization and testing of a long-range surface plasmon polariton (LRSPP) cladded membrane waveguide hydrogen gas (H 2 ) sensor with integrated grating couplers.The sensor, which is the first of its kind to be demonstrated in the literature, features a thin gold (Au) stripe embedded in an ultra-thin free standing Cytop membrane with palladium (Pd) transducer.The design is performed through finite element method (FEM) optical modeling of the LRSPP waveguide and gratings.The non-trivial fabrication process utilizes facilities at Carleton University and the University of Ottawa and is presented in detail.The process involves multi-layer dielectric deposition, blind double-sided wafer alignment, multiple metal depositions using photolithography and ebeam lithography as well as a through-wafer silicon wet etch step.The devices are passively characterized using an optical cutback technique comparing the observed waveguide attenuation to that of simulated values showing good agreement.Sensing tests are performed with hydrogen concentrations up to 3%.A best detection limit of 290 ppm is observed with a response time of 7 s to 0.6% H 2 (99.4% N 2 ).The sensor has the capability of a higher dynamic range than other thin film sensors while other simple adjustments are discussed that can be applied to improve overall performance.iii 1.3
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Comment cette classification a été obtenuedéplier
Prédiction machine sur la base complète
Imitation des enseignantsNi prévalence calibrée, ni vérité terrain. Validation humaine à venir. Le volet Gemma est une étiquette directe du modèle pour chaque travail de la base, lue sur la notice réduite au titre. Le volet Codex est un classifieur appris des 10 348 étiquettes directes de Codex et calibré sur les taux pondérés de l'échantillon; les champs sans appui suffisant ne portent aucun appel Codex. Le mode candidate est l'union des deux volets; le consensus est leur intersection. Ces sorties portent le statut machine_predicted_unvalidated et ne sont pas des étiquettes humaines.
Scores du classifieur distillé par catégorie (deux têtes)
| Catégorie | Codex | Gemma |
|---|---|---|
| Métarecherche | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens strict) | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens large) | 0,000 | 0,000 |
| Bibliométrie | 0,000 | 0,000 |
| Études des sciences et des technologies | 0,000 | 0,000 |
| Communication savante | 0,000 | 0,001 |
| Science ouverte | 0,000 | 0,000 |
| Intégrité de la recherche | 0,000 | 0,000 |
| Charge utile insuffisante (le modèle a refusé de juger) | 0,001 | 0,000 |
Scores machine (provisoires)
Les deux têtes enseignantes du modèle étudiant, lues sur ce travail. Un score ordonne la base pour la relecture; il n'affirme jamais une catégorie, et le statut de validation accompagne chaque rangée tel quel.
Scores de référence d'un modèle non mature (critères de maturité non atteints, 7 itérations). Un score ordonne; il n'affirme jamais une catégorie.
score_only:v0-immature-baseline · tel quel depuis la passe de notation : score_only signifie que le nombre peut ordonner les travaux, et qu'aucune étiquette de catégorie n'en découleClassification
machine, non validéePrédiction automatique; un appel candidat d’une seule source (Gemma direct ou Codex distillé), pas un consensus.
Le détail, modèle par modèle et score par score, se trouve en fin de page sous « Comment cette classification a été obtenue ».