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Enregistrement W3036472142 · doi:10.1109/jmems.2020.3000154

FPCB Masked One-Step Etching Large Aperture Mirror for LiDAR

2020· article· en· W3036472142 sur OpenAlex

Pourquoi ce travail est dans la base

Une base qui oublie comment elle a trouvé un travail ne peut pas être vérifiée. Voici les voies qui ont admis celui-ci.

affAu moins un auteur déclare une institution canadienne dans l'instantané OpenAlex épinglé.

Notice bibliographique

RevueJournal of Microelectromechanical Systems · 2020
Typearticle
Langueen
DomaineEngineering
ThématiqueAdvanced MEMS and NEMS Technologies
Établissements canadiensToronto Metropolitan University
Organismes subventionnairesnon disponible
Mots-clésDeep reactive-ion etchingOpticsMicrofabricationWaferEtching (microfabrication)Materials scienceAperture (computer memory)Radius of curvatureFabricationOptoelectronicsNanotechnologyPhysicsReactive-ion etchingCurvatureLayer (electronics)Acoustics

Résumé

récupéré en direct d'OpenAlex

This paper presents a Flexible Printed Circuit Board (FPCB) masked one-step etching large aperture mirror for Light Detection and Ranging (LiDAR). A FPCB structure is bonded on a thin silicon wafer (50~200 μm thick) coated with a 100 nm thick metal film and one-step of DRIE is used to etch the wafer with the FPCB structure as the mask and the metal film as the stop layer. The simple fabrication process and 0.1 mm (instead of <; 1 μm needed for microfabrication) resolution photolithography lead to a very low cost of a few dollars. Copper coils embedded in the FPCB structure are attached to the backside of the large aperture mirror plate, instead of beside the mirror plate as the case in MEMS magnetic mirrors, to generate a high magnetic force and achieve a relatively high frequency considering the large aperture and high thickness. Modeling and prototyping of two designs, Mirror_A and Mirror_B, are presented to verify the novel mirror technology. LiDAR applications of the novel mirror technology are demonstrated and tested. Achieved performances are: Mirror_A, aperture 12 × 12 mm, oscillation frequency of 510 Hz, field of view (FOV) of 30 <sup xmlns:mml="http://www.w3.org/1998/Math/MathML" xmlns:xlink="http://www.w3.org/1999/xlink">o</sup> and radius of curvature (ROC) of 10 m; Mirror_B aperture 24 × 24 mm, oscillation frequency of 160 Hz, FOV of 20 <sup xmlns:mml="http://www.w3.org/1998/Math/MathML" xmlns:xlink="http://www.w3.org/1999/xlink">o</sup> and ROC of 10 m. [2020-0085].

Récupéré en direct depuis OpenAlex et désinversé. Les résumés ne sont pas conservés dans cette base de données : les index inversés représentent 8,6 Go des 9,3 Go de texte de la base, et le serveur dispose de 13 Go libres.

Prédiction distillée sur la base complète

Imitation des enseignants

Ni prévalence calibrée, ni vérité terrain. Validation humaine à venir. Apprise à partir de 10 348 étiquettes directes de Codex et de 10 348 étiquettes directes de Gemma. Le mode candidate est l'union des têtes enseignantes seuillées; le consensus est leur intersection. Ces sorties portent le statut machine_predicted_unvalidated et ne sont ni des étiquettes humaines ni des étiquettes directes de modèles de pointe.

score de la tête « metaresearch » (Codex)0,000
score de la tête « metaresearch » (Gemma)0,000
Version: codex-gemma-dda1882f352aStatut de validation: machine_predicted_unvalidated
Catégories candidatesaucune
Catégories consensuellesaucune
DomaineSignal candidat: aucune · Signal consensuel: aucune
Devis d'étudeSignal candidat: Expérimental (laboratoire) · Signal consensuel: aucune
GenreSignal candidat: Empirique · Signal consensuel: aucune
Score de désaccord entre enseignants0,639
Score d'incertitude au seuil0,785

Scores Codex et Gemma par catégorie

CatégorieCodexGemma
Métarecherche0,0000,000
Méta-épidémiologie (sens strict)0,0000,000
Méta-épidémiologie (sens large)0,0010,000
Bibliométrie0,0000,000
Études des sciences et des technologies0,0000,000
Communication savante0,0000,000
Science ouverte0,0000,000
Intégrité de la recherche0,0000,001
Charge utile insuffisante (le modèle a refusé de juger)0,0000,000

Scores machine (provisoires)

Les deux têtes enseignantes du modèle étudiant, lues sur ce travail. Un score ordonne la base pour la relecture; il n'affirme jamais une catégorie, et le statut de validation accompagne chaque rangée tel quel.

Scores de référence d'un modèle non mature (critères de maturité non atteints, 7 itérations). Un score ordonne; il n'affirme jamais une catégorie.

Tête enseignante Opus0,020
Tête enseignante GPT0,228
Écart entre enseignants0,208 · la distance entre les deux têtes enseignantes sur ce seul travail
Statut de validationscore_only:v0-immature-baseline · tel quel depuis la passe de notation : score_only signifie que le nombre peut ordonner les travaux, et qu'aucune étiquette de catégorie n'en découle