Dry etching strategy of spin-transfer-torque magnetic random access memory: A review
Notice bibliographique
Résumé
The spin-based memory, spin transfer torque-magnetic random access memory (STT-MRAM), has the potential to enhance the power efficiency of high density memory systems. Its desirable characteristics include nonvolatility, fast operation, and long endurance. However, dry etching of MRAM structures remains a challenge as the industry is ramping up its production. In this paper, we explore the etching strategies that have been used to etch the MRAM structures. Several etching techniques have been developed to attain optimal device performance. These are reactive ion etching, time modulated plasma etching, atomic layer etching, and ion beam etching. Sidewall profile, sidewall contamination or damage, redeposition, selectivity, and noncorrosiveness are the main factors to consider while selecting the best etching methods. This paper starts with the fundamentals of MRAM reading, writing, and storing principles and finishes with the current approaches to solve the etch challenges. For etching, the most commonly used magnetic materials such as CoFeB, CoFe, and NiFe are covered in this article.
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Comment cette classification a été obtenuedéplier
Prédiction distillée sur la base complète
Imitation des enseignantsNi prévalence calibrée, ni vérité terrain. Validation humaine à venir. Apprise à partir de 10 348 étiquettes directes de Codex et de 10 348 étiquettes directes de Gemma. Le mode candidate est l'union des têtes enseignantes seuillées; le consensus est leur intersection. Ces sorties portent le statut machine_predicted_unvalidated et ne sont ni des étiquettes humaines ni des étiquettes directes de modèles de pointe.
Scores Codex et Gemma par catégorie
| Catégorie | Codex | Gemma |
|---|---|---|
| Métarecherche | 0,003 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens strict) | 0,001 | 0,001 |
| Méta-épidémiologie (sens large) | 0,003 | 0,000 |
| Bibliométrie | 0,001 | 0,002 |
| Études des sciences et des technologies | 0,000 | 0,002 |
| Communication savante | 0,000 | 0,000 |
| Science ouverte | 0,002 | 0,001 |
| Intégrité de la recherche | 0,000 | 0,001 |
| Charge utile insuffisante (le modèle a refusé de juger) | 0,000 | 0,000 |
Scores machine (provisoires)
Les deux têtes enseignantes du modèle étudiant, lues sur ce travail. Un score ordonne la base pour la relecture; il n'affirme jamais une catégorie, et le statut de validation accompagne chaque rangée tel quel.
Scores de référence d'un modèle non mature (critères de maturité non atteints, 7 itérations). Un score ordonne; il n'affirme jamais une catégorie.
score_only:v0-immature-baseline · tel quel depuis la passe de notation : score_only signifie que le nombre peut ordonner les travaux, et qu'aucune étiquette de catégorie n'en découleClassification
machine, non validéePrédiction automatique; un appel candidat d’une seule tête enseignante, pas un consensus.
Le détail, modèle par modèle et score par score, se trouve en fin de page sous « Comment cette classification a été obtenue ».