Atmospheric-pressure spatial chemical vapor deposition of tungsten oxide
Notice bibliographique
Résumé
Atmospheric-pressure spatial atomic layer deposition (AP-SALD) and atmospheric-pressure spatial chemical vapor deposition (AP-SCVD) are rapid, open-air techniques for the deposition of conformal, pinhole-free films over large areas. In this work, a precursor nebulizer and an ozone generator are incorporated into an AP-SALD system to enable the deposition of tungsten oxide (WO3) films by AP-SCVD. The precursors bis(t-butylimido) bis(dimethylamino) tungsten(VI) and ozone are used with a film deposition temperature of 350 °C to achieve a growth per cycle of 1.2 Å/cycle. A bandgap of 3.26 eV and a refractive index of 2.36 were obtained, consistent with the previous reports for WO3 films. The pinhole-free films were found to be a mixture of hexagonal and monoclinic WO3, with an increasing monoclinic nature after annealing. Additionally, the as-deposited film was substoichiometric with an O/W ratio of 2.3, which increased to 2.36 after annealing at 450 °C. The successful open-air deposition of tungsten oxide via the incorporation of a precursor nebulizer and ozone generator paves the way for large-area deposition of tungsten oxide for commercial applications.
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Comment cette classification a été obtenuedéplier
Prédiction distillée sur la base complète
Imitation des enseignantsNi prévalence calibrée, ni vérité terrain. Validation humaine à venir. Apprise à partir de 10 348 étiquettes directes de Codex et de 10 348 étiquettes directes de Gemma. Le mode candidate est l'union des têtes enseignantes seuillées; le consensus est leur intersection. Ces sorties portent le statut machine_predicted_unvalidated et ne sont ni des étiquettes humaines ni des étiquettes directes de modèles de pointe.
Scores Codex et Gemma par catégorie
| Catégorie | Codex | Gemma |
|---|---|---|
| Métarecherche | 0,001 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens strict) | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens large) | 0,001 | 0,000 |
| Bibliométrie | 0,000 | 0,001 |
| Études des sciences et des technologies | 0,000 | 0,001 |
| Communication savante | 0,000 | 0,001 |
| Science ouverte | 0,001 | 0,000 |
| Intégrité de la recherche | 0,000 | 0,000 |
| Charge utile insuffisante (le modèle a refusé de juger) | 0,000 | 0,000 |
Scores machine (provisoires)
Les deux têtes enseignantes du modèle étudiant, lues sur ce travail. Un score ordonne la base pour la relecture; il n'affirme jamais une catégorie, et le statut de validation accompagne chaque rangée tel quel.
Scores de référence d'un modèle non mature (critères de maturité non atteints, 7 itérations). Un score ordonne; il n'affirme jamais une catégorie.
score_only:v0-immature-baseline · tel quel depuis la passe de notation : score_only signifie que le nombre peut ordonner les travaux, et qu'aucune étiquette de catégorie n'en découleClassification
machine, non validéePrédiction automatique; un appel candidat d’une seule tête enseignante, pas un consensus.
Le détail, modèle par modèle et score par score, se trouve en fin de page sous « Comment cette classification a été obtenue ».