Versatile direct-writing of dopants in a solid state host through recoil implantation
Notice bibliographique
Résumé
Abstract Modifying material properties at the nanoscale is crucially important for devices in nano-electronics, nanophotonics and quantum information. Optically active defects in wide band gap materials, for instance, are critical constituents for the realisation of quantum technologies. Here, we demonstrate the use of recoil implantation, a method exploiting momentum transfer from accelerated ions, for versatile and mask-free material doping. As a proof of concept, we direct-write arrays of optically active defects into diamond via momentum transfer from a Xe + focused ion beam (FIB) to thin films of the group IV dopants pre-deposited onto a diamond surface. We further demonstrate the flexibility of the technique, by implanting rare earth ions into the core of a single mode fibre. We conclusively show that the presented technique yields ultra-shallow dopant profiles localised to the top few nanometres of the target surface, and use it to achieve sub-50 nm positional accuracy. The method is applicable to non-planar substrates with complex geometries, and it is suitable for applications such as electronic and magnetic doping of atomically-thin materials and engineering of near-surface states of semiconductor devices.
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Comment cette classification a été obtenuedéplier
Prédiction distillée sur la base complète
Imitation des enseignantsNi prévalence calibrée, ni vérité terrain. Validation humaine à venir. Apprise à partir de 10 348 étiquettes directes de Codex et de 10 348 étiquettes directes de Gemma. Le mode candidate est l'union des têtes enseignantes seuillées; le consensus est leur intersection. Ces sorties portent le statut machine_predicted_unvalidated et ne sont ni des étiquettes humaines ni des étiquettes directes de modèles de pointe.
Scores Codex et Gemma par catégorie
| Catégorie | Codex | Gemma |
|---|---|---|
| Métarecherche | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens strict) | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens large) | 0,000 | 0,000 |
| Bibliométrie | 0,000 | 0,000 |
| Études des sciences et des technologies | 0,000 | 0,000 |
| Communication savante | 0,000 | 0,000 |
| Science ouverte | 0,001 | 0,000 |
| Intégrité de la recherche | 0,000 | 0,000 |
| Charge utile insuffisante (le modèle a refusé de juger) | 0,000 | 0,000 |
Scores machine (provisoires)
Les deux têtes enseignantes du modèle étudiant, lues sur ce travail. Un score ordonne la base pour la relecture; il n'affirme jamais une catégorie, et le statut de validation accompagne chaque rangée tel quel.
Scores de référence d'un modèle non mature (critères de maturité non atteints, 7 itérations). Un score ordonne; il n'affirme jamais une catégorie.
score_only:v0-immature-baseline · tel quel depuis la passe de notation : score_only signifie que le nombre peut ordonner les travaux, et qu'aucune étiquette de catégorie n'en découleClassification
machine, non validéePrédiction automatique; un appel candidat d’une seule tête enseignante, pas un consensus.
Le détail, modèle par modèle et score par score, se trouve en fin de page sous « Comment cette classification a été obtenue ».