Design and Fabrication Considerations for Thermo-Resistive Pixel Detectors for Room Temperature Directional Long Wavelength IR Sensing
Notice bibliographique
Résumé
Rapid growth in application demands for smart sensing has fostered the development of micro-electromechanical-based devices with unique capabilities. Recent developments have led to complex autonomous systems that require a variety of intelligent sensing tasks to render human-machine interactions safe and efficient in workplace environments comprising both a human and robotic workforce. Here we report the design and fabrication of a novel thermo-resistive LWIR detector, for sensing and recalculating the direction of incident LWIR radiation for potential robotic applications. The work employs standard silicon micromachining processes along with sol-gel chemistry to fabricate three-dimensional pixel detectors to approximate an LWIR source's direction of incidence using thermo-resistive material. There have been no prior reports of the thermo-resistive effect in conjunction with directionality in LWIR sensors. In addition to the fabrication process flow, we describe the mathematical framework for sensor operation and present a photoresist deposition process for large 3-D topographic surface structures. We discuss the advantages and challenges of the currently designed and fabricated prototypes and highlight issues that limit their angular LWIR response.
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Comment cette classification a été obtenuedéplier
Prédiction distillée sur la base complète
Imitation des enseignantsNi prévalence calibrée, ni vérité terrain. Validation humaine à venir. Apprise à partir de 10 348 étiquettes directes de Codex et de 10 348 étiquettes directes de Gemma. Le mode candidate est l'union des têtes enseignantes seuillées; le consensus est leur intersection. Ces sorties portent le statut machine_predicted_unvalidated et ne sont ni des étiquettes humaines ni des étiquettes directes de modèles de pointe.
Scores Codex et Gemma par catégorie
| Catégorie | Codex | Gemma |
|---|---|---|
| Métarecherche | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens strict) | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens large) | 0,000 | 0,000 |
| Bibliométrie | 0,000 | 0,000 |
| Études des sciences et des technologies | 0,000 | 0,000 |
| Communication savante | 0,000 | 0,000 |
| Science ouverte | 0,000 | 0,000 |
| Intégrité de la recherche | 0,000 | 0,000 |
| Charge utile insuffisante (le modèle a refusé de juger) | 0,000 | 0,000 |
Scores machine (provisoires)
Les deux têtes enseignantes du modèle étudiant, lues sur ce travail. Un score ordonne la base pour la relecture; il n'affirme jamais une catégorie, et le statut de validation accompagne chaque rangée tel quel.
Scores de référence d'un modèle non mature (critères de maturité non atteints, 7 itérations). Un score ordonne; il n'affirme jamais une catégorie.
score_only:v0-immature-baseline · tel quel depuis la passe de notation : score_only signifie que le nombre peut ordonner les travaux, et qu'aucune étiquette de catégorie n'en découleClassification
machine, non validéePrédiction automatique; un appel candidat d’une seule tête enseignante, pas un consensus.
Le détail, modèle par modèle et score par score, se trouve en fin de page sous « Comment cette classification a été obtenue ».