In-situ spatial and temporal electrical characterization of ZnO thin films deposited by atmospheric pressure chemical vapour deposition on flexible polymer substrates
Notice bibliographique
Résumé
A technique is presented for collecting data on both the spatial and temporal variations in the electrical properties of a film as it is deposited on a flexible substrate. A flexible printed circuit board substrate with parallel electrodes distributed across its surface was designed. Zinc oxide films were then deposited on the flexible substrate at different temperatures via atmospheric pressure chemical vapour deposition (AP-CVD) using a spatial atomic layer deposition system. AP-CVD is a promising high-throughput thin film deposition technique with applications in flexible electronics. Collecting data on the film properties in-situ allows us to directly observe how deposition conditions affect the evolution of those properties in real-time. The spatial uniformity of the growing film was monitored, and the various stages of film nucleation and growth on the polymer substrate were observed. The measured resistance of the films was observed to be very high until a critical amount of material has been deposited, consistent with Volmer-Weber growth. Furthermore, monitoring the film resistance during post-deposition cooling enabled immediate identification of metallic or semiconducting behaviour within the conductive ZnO films. This technique allows for a more complete understanding of metal chalcogen film growth and properties, and the high volume of data generated will be useful for future implementations of machine-learning directed materials science.
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Comment cette classification a été obtenuedéplier
Prédiction distillée sur la base complète
Imitation des enseignantsNi prévalence calibrée, ni vérité terrain. Validation humaine à venir. Apprise à partir de 10 348 étiquettes directes de Codex et de 10 348 étiquettes directes de Gemma. Le mode candidate est l'union des têtes enseignantes seuillées; le consensus est leur intersection. Ces sorties portent le statut machine_predicted_unvalidated et ne sont ni des étiquettes humaines ni des étiquettes directes de modèles de pointe.
Scores Codex et Gemma par catégorie
| Catégorie | Codex | Gemma |
|---|---|---|
| Métarecherche | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens strict) | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens large) | 0,000 | 0,000 |
| Bibliométrie | 0,000 | 0,000 |
| Études des sciences et des technologies | 0,000 | 0,000 |
| Communication savante | 0,000 | 0,000 |
| Science ouverte | 0,000 | 0,000 |
| Intégrité de la recherche | 0,000 | 0,000 |
| Charge utile insuffisante (le modèle a refusé de juger) | 0,000 | 0,000 |
Scores machine (provisoires)
Les deux têtes enseignantes du modèle étudiant, lues sur ce travail. Un score ordonne la base pour la relecture; il n'affirme jamais une catégorie, et le statut de validation accompagne chaque rangée tel quel.
Scores de référence d'un modèle non mature (critères de maturité non atteints, 7 itérations). Un score ordonne; il n'affirme jamais une catégorie.
score_only:v0-immature-baseline · tel quel depuis la passe de notation : score_only signifie que le nombre peut ordonner les travaux, et qu'aucune étiquette de catégorie n'en découleClassification
machine, non validéePrédiction automatique; un appel candidat d’une seule tête enseignante, pas un consensus.
Le détail, modèle par modèle et score par score, se trouve en fin de page sous « Comment cette classification a été obtenue ».