Controlling thermal-induced dewetting of As<sub>20</sub>Se<sub>80</sub> thin films for integrated photonics applications
Notice bibliographique
Résumé
As the use of photonics circuits expands, the optical quality and performance of integrated components in the microscale become a major concern. Aiming to improve the performance while reducing the time processing, new microfabrication approaches are being investigated. The dewetting of glassy thin films have been recently proposed as an alternative for nano and microfabrication of chalcogenide optical components. Besides being the best materials for light transmission in the infrared region, chalcogenide glasses possess a flexible molecular structure that allows using a cheap and simple molding process. Here we investigate the thermal-induced dewetting of chalcogenide As20Se80 thin films, by studying the influence of temperature, atmosphere, and heating rate on the formation of self-assembled microstructures. We found that thin films between 150 and 700 nm dewet via structural relaxation, similarly to liquid agglomeration, and produce solid microstructures with the same composition and molecular structure as the initial film. By controlling the glass viscosity and the kinetics of the nucleation process it was possible to adjust the distribution and size of glassy microstructures. Additionally, we combine the dewetting process with standard photolithography and by avoiding the capillary instabilities, we are capable to obtain waveguides with the smooth and symmetric surfaces required for optical applications in the microscale size.
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Comment cette classification a été obtenuedéplier
Prédiction machine sur la base complète
Imitation des enseignantsNi prévalence calibrée, ni vérité terrain. Validation humaine à venir. Le volet Gemma est une étiquette directe du modèle pour chaque travail de la base, lue sur la notice réduite au titre. Le volet Codex est un classifieur appris des 10 348 étiquettes directes de Codex et calibré sur les taux pondérés de l'échantillon; les champs sans appui suffisant ne portent aucun appel Codex. Le mode candidate est l'union des deux volets; le consensus est leur intersection. Ces sorties portent le statut machine_predicted_unvalidated et ne sont pas des étiquettes humaines.
Scores du classifieur distillé par catégorie (deux têtes)
| Catégorie | Codex | Gemma |
|---|---|---|
| Métarecherche | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens strict) | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens large) | 0,000 | 0,000 |
| Bibliométrie | 0,000 | 0,000 |
| Études des sciences et des technologies | 0,000 | 0,000 |
| Communication savante | 0,000 | 0,000 |
| Science ouverte | 0,000 | 0,000 |
| Intégrité de la recherche | 0,000 | 0,000 |
| Charge utile insuffisante (le modèle a refusé de juger) | 0,001 | 0,000 |
Scores machine (provisoires)
Les deux têtes enseignantes du modèle étudiant, lues sur ce travail. Un score ordonne la base pour la relecture; il n'affirme jamais une catégorie, et le statut de validation accompagne chaque rangée tel quel.
Scores de référence d'un modèle non mature (critères de maturité non atteints, 7 itérations). Un score ordonne; il n'affirme jamais une catégorie.
score_only:v0-immature-baseline · tel quel depuis la passe de notation : score_only signifie que le nombre peut ordonner les travaux, et qu'aucune étiquette de catégorie n'en découleClassification
machine, non validéePrédiction automatique; un appel candidat d’une seule source (Gemma direct ou Codex distillé), pas un consensus.
Le détail, modèle par modèle et score par score, se trouve en fin de page sous « Comment cette classification a été obtenue ».