Sputtering of surfaces by ion irradiation: A comparison of molecular dynamics and binary collision approximation models to laboratory measurements
Notice bibliographique
Résumé
We compare various sputtering simulation methods to experimental results in both the low energy (<1 keV) and high energy (≥1 keV) impact regimes for argon ions impacting a pure copper substrate at normal incidence. Our results indicate that for high energy impacts, both binary collision approximation (BCA) and molecular dynamics methods can be used to generate reasonable predictions for the yield and energy distribution of the sputtered atoms. We also find reasonable agreement between the theoretical and experimental results down to impact energies of 600 eV. However, at 200 eV impact energies, significant discrepancies appear between the experimental and theoretical ejecta energy distributions in the peak position, the width of the energy distribution, and the magnitude of the high energy tail. These discrepancies appear to arise from the experimental results being only for atoms sputtered normal to the substrate surface, whereas the theoretical results are integrated over all 2π solid angles above the surface. Using the BCA code SDTrimSP and limiting the results to only atoms emitted within ±15° of the surface normal brings theory and experiment into reasonable agreement. These results suggest that for low energy impacts, the energy distribution of sputtered atoms is highly dependent on the emission angle of the ejecta.
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Comment cette classification a été obtenuedéplier
Prédiction machine sur la base complète
Imitation des enseignantsNi prévalence calibrée, ni vérité terrain. Validation humaine à venir. Le volet Gemma est une étiquette directe du modèle pour chaque travail de la base, lue sur la notice réduite au titre. Le volet Codex est un classifieur appris des 10 348 étiquettes directes de Codex et calibré sur les taux pondérés de l'échantillon; les champs sans appui suffisant ne portent aucun appel Codex. Le mode candidate est l'union des deux volets; le consensus est leur intersection. Ces sorties portent le statut machine_predicted_unvalidated et ne sont pas des étiquettes humaines.
Scores du classifieur distillé par catégorie (deux têtes)
| Catégorie | Codex | Gemma |
|---|---|---|
| Métarecherche | 0,001 | 0,002 |
| Méta-épidémiologie (sens strict) | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens large) | 0,000 | 0,000 |
| Bibliométrie | 0,000 | 0,001 |
| Études des sciences et des technologies | 0,000 | 0,000 |
| Communication savante | 0,000 | 0,001 |
| Science ouverte | 0,001 | 0,000 |
| Intégrité de la recherche | 0,001 | 0,001 |
| Charge utile insuffisante (le modèle a refusé de juger) | 0,001 | 0,000 |
Scores machine (provisoires)
Les deux têtes enseignantes du modèle étudiant, lues sur ce travail. Un score ordonne la base pour la relecture; il n'affirme jamais une catégorie, et le statut de validation accompagne chaque rangée tel quel.
Scores de référence d'un modèle non mature (critères de maturité non atteints, 7 itérations). Un score ordonne; il n'affirme jamais une catégorie.
score_only:v0-immature-baseline · tel quel depuis la passe de notation : score_only signifie que le nombre peut ordonner les travaux, et qu'aucune étiquette de catégorie n'en découleClassification
machine, non validéePrédiction automatique; un appel candidat d’une seule source (Gemma direct ou Codex distillé), pas un consensus.
Le détail, modèle par modèle et score par score, se trouve en fin de page sous « Comment cette classification a été obtenue ».