Influence of Nitrogen on the Luminescence Properties of Ce-Doped SiO<sub>x</sub>N<sub>y</sub>
Notice bibliographique
Résumé
We report wideband photoluminescent emission from cerium-doped silicon oxynitride (Ce-doped SiOxNy) thin films deposited using electron cyclotron resonance plasma enhanced chemical-vapor deposition (ECR-PECVD). The in situ doping with Cerium (Ce) was performed using a volatile metal organic powder, (Ce[tmhd]4). Oxygen was gradually substituted by nitrogen to produce SiOxNy thin films with varying nitrogen to oxygen ratio, to explore the effect of nitrogen on the photoluminescence (PL) of the thin films. Thin film composition and optical constants were determined using Rutherford back scattering and ellipsometry techniques, respectively. Samples subjected to post-deposition thermal annealing yielded considerably stronger blue/white PL emission than as-deposited ones, due to the formation of Ce-containing clusters at a temperature of 1000 °C and above. X-ray diffraction (XRD) revealed no crystalline structure in samples annealed at elevated temperatures. The optimum layer composition and annealing condition to produce SiOxNy thin films with maximized Ce3+ emission was determined. Besides, hydrogen fluoride etching along with hydrogen passivation demonstrated the enhancement of the PL emission of the thin films.
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Comment cette classification a été obtenuedéplier
Prédiction machine sur la base complète
Imitation des enseignantsNi prévalence calibrée, ni vérité terrain. Validation humaine à venir. Le volet Gemma est une étiquette directe du modèle pour chaque travail de la base, lue sur la notice réduite au titre. Le volet Codex est un classifieur appris des 10 348 étiquettes directes de Codex et calibré sur les taux pondérés de l'échantillon; les champs sans appui suffisant ne portent aucun appel Codex. Le mode candidate est l'union des deux volets; le consensus est leur intersection. Ces sorties portent le statut machine_predicted_unvalidated et ne sont pas des étiquettes humaines.
Scores du classifieur distillé par catégorie (deux têtes)
| Catégorie | Codex | Gemma |
|---|---|---|
| Métarecherche | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens strict) | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens large) | 0,000 | 0,000 |
| Bibliométrie | 0,000 | 0,000 |
| Études des sciences et des technologies | 0,000 | 0,000 |
| Communication savante | 0,000 | 0,000 |
| Science ouverte | 0,000 | 0,000 |
| Intégrité de la recherche | 0,000 | 0,000 |
| Charge utile insuffisante (le modèle a refusé de juger) | 0,001 | 0,000 |
Scores machine (provisoires)
Les deux têtes enseignantes du modèle étudiant, lues sur ce travail. Un score ordonne la base pour la relecture; il n'affirme jamais une catégorie, et le statut de validation accompagne chaque rangée tel quel.
Scores de référence d'un modèle non mature (critères de maturité non atteints, 7 itérations). Un score ordonne; il n'affirme jamais une catégorie.
score_only:v0-immature-baseline · tel quel depuis la passe de notation : score_only signifie que le nombre peut ordonner les travaux, et qu'aucune étiquette de catégorie n'en découleClassification
machine, non validéePrédiction automatique; un appel candidat d’une seule source (Gemma direct ou Codex distillé), pas un consensus.
Le détail, modèle par modèle et score par score, se trouve en fin de page sous « Comment cette classification a été obtenue ».