Firing stability of tube furnace‐annealed n‐type poly‐Si on oxide junctions
Notice bibliographique
Résumé
Abstract Stability of the passivation quality of poly‐Si on oxide junctions against the conventional mainstream high‐temperature screen‐print firing processes is highly desirable and also expected since the poly‐Si on oxide preparation occurs at higher temperatures and for longer durations than firing. We measure recombination current densities (J0) and interface state densities (Dit) of symmetrical samples with n‐type poly‐Si contacts before and after firing. Samples without a capping dielectric layer show a significant deterioration of the passivation quality during firing. The Dit values are (3 ± 0.2) × 1011 and (8 ± 2) × 1011 eV/cm2 when fired at 620°C and 900°C, respectively. The activation energy in an Arrhenius fit of Dit versus the firing temperature is 0.30 ± 0.03 eV. This indicates that thermally induced desorption of hydrogen from SiH bonds at the poly‐Si/SiOx interface is not the root cause of depassivation. Postfiring annealing at 425°C can improve the passivation again. Samples with SiNx capping layers show an increase in J0 up to about 100 fA/cm2 by firing, which can be attributed to blistering and is not reversed by annealing at 425°C. On the other hand, blistering does not occur in poly‐Si samples capped with AlOx layers or AlOx/SiNy stacks, and J0 values of 2–5 fA/cm2 can be achieved after firing. Those findings suggest that a combination of two effects might be the root cause of the increase in J0 and Dit: thermal stress at the SiOz interface during firing and blistering. Blistering is presumed to occur when the hydrogen concentration in the capping layers exceeds a certain level.
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Comment cette classification a été obtenuedéplier
Prédiction machine sur la base complète
Imitation des enseignantsNi prévalence calibrée, ni vérité terrain. Validation humaine à venir. Le volet Gemma est une étiquette directe du modèle pour chaque travail de la base, lue sur la notice réduite au titre. Le volet Codex est un classifieur appris des 10 348 étiquettes directes de Codex et calibré sur les taux pondérés de l'échantillon; les champs sans appui suffisant ne portent aucun appel Codex. Le mode candidate est l'union des deux volets; le consensus est leur intersection. Ces sorties portent le statut machine_predicted_unvalidated et ne sont pas des étiquettes humaines.
Scores du classifieur distillé par catégorie (deux têtes)
| Catégorie | Codex | Gemma |
|---|---|---|
| Métarecherche | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens strict) | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens large) | 0,000 | 0,000 |
| Bibliométrie | 0,000 | 0,000 |
| Études des sciences et des technologies | 0,000 | 0,000 |
| Communication savante | 0,000 | 0,000 |
| Science ouverte | 0,000 | 0,000 |
| Intégrité de la recherche | 0,000 | 0,000 |
| Charge utile insuffisante (le modèle a refusé de juger) | 0,001 | 0,000 |
Scores machine (provisoires)
Les deux têtes enseignantes du modèle étudiant, lues sur ce travail. Un score ordonne la base pour la relecture; il n'affirme jamais une catégorie, et le statut de validation accompagne chaque rangée tel quel.
Scores de référence d'un modèle non mature (critères de maturité non atteints, 7 itérations). Un score ordonne; il n'affirme jamais une catégorie.
score_only:v0-immature-baseline · tel quel depuis la passe de notation : score_only signifie que le nombre peut ordonner les travaux, et qu'aucune étiquette de catégorie n'en découleClassification
machine, non validéePrédiction automatique; un appel candidat d’une seule source (Gemma direct ou Codex distillé), pas un consensus.
Le détail, modèle par modèle et score par score, se trouve en fin de page sous « Comment cette classification a été obtenue ».