Impact of III-Nitride/Si Interface Preconditioning on Breakdown Voltage in GaN-on-Silicon HEMT
Notice bibliographique
Résumé
In this paper, an AIGaN/GaN metal-oxide-semiconductor high-electron-mobility transistor (MOS-HEMT) device is realized. The device shows normal ON characteristics with a maximum current of 570 mA/mm at a gate-to-source voltage of 3 V, an on-state resistance of 7.3 Ω·mm and breakdown voltage of 500 V. The device has been modeled using numerical simulations to reproduce output and transfer characteristics. We identify, via experimental results and TCAD simulations, the main physical mechanisms responsible for the premature breakdown. The contribution of the AlN/Silicon substrate interface to the premature off-state breakdown is pointed out. Vertical leakage in lateral GaN devices significantly contributes to the off-state breakdown at high blocking voltages. The parasitic current path leads to premature breakdown before the appearance of avalanche or dielectric breakdown. A comparative study between a MOS-HEMT GaN on a silicon substrate with and without a SiNx interlayer at the AlN/Silicon substrate interface is presented here. We show that it is possible to increase the breakdown voltages of the fabricated transistors on a silicon substrate using SiNx interlayer.
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Comment cette classification a été obtenuedéplier
Prédiction distillée sur la base complète
Imitation des enseignantsNi prévalence calibrée, ni vérité terrain. Validation humaine à venir. Apprise à partir de 10 348 étiquettes directes de Codex et de 10 348 étiquettes directes de Gemma. Le mode candidate est l'union des têtes enseignantes seuillées; le consensus est leur intersection. Ces sorties portent le statut machine_predicted_unvalidated et ne sont ni des étiquettes humaines ni des étiquettes directes de modèles de pointe.
Scores Codex et Gemma par catégorie
| Catégorie | Codex | Gemma |
|---|---|---|
| Métarecherche | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens strict) | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens large) | 0,000 | 0,000 |
| Bibliométrie | 0,000 | 0,000 |
| Études des sciences et des technologies | 0,000 | 0,000 |
| Communication savante | 0,000 | 0,000 |
| Science ouverte | 0,000 | 0,000 |
| Intégrité de la recherche | 0,000 | 0,000 |
| Charge utile insuffisante (le modèle a refusé de juger) | 0,002 | 0,000 |
Scores machine (provisoires)
Les deux têtes enseignantes du modèle étudiant, lues sur ce travail. Un score ordonne la base pour la relecture; il n'affirme jamais une catégorie, et le statut de validation accompagne chaque rangée tel quel.
Scores de référence d'un modèle non mature (critères de maturité non atteints, 7 itérations). Un score ordonne; il n'affirme jamais une catégorie.
score_only:v0-immature-baseline · tel quel depuis la passe de notation : score_only signifie que le nombre peut ordonner les travaux, et qu'aucune étiquette de catégorie n'en découleClassification
machine, non validéePrédiction automatique; un appel candidat d’une seule tête enseignante, pas un consensus.
Le détail, modèle par modèle et score par score, se trouve en fin de page sous « Comment cette classification a été obtenue ».