Design parameters of a reluctance actuation system for stable operation conditions with applications of high‐precision motions in lithography machines
Notice bibliographique
Résumé
Abstract Recently, the reluctance actuator has attracted great attention to replace the Lorentz actuator in the next generation of wafer scanners in semi‐conductor lithography machines. The reluctance actuator has a non‐linear position‐force characteristic, which may cause high oscillations and unstable operation. This study presents a linearisation technique by optimising the main parameters of the reluctance actuator to operate away from the saturation point. Also, in this study, the critical current is formulated for the stable dynamic behaviour of the reluctance actuator. Optimisation based on the Grey Wolf Optimiser is performed considering the high‐precision motion requirements and physical constraints. The high‐precision motion requirements include the desired work‐space displacement, natural frequency, and maximum force. The electromechanical dynamic model of the reluctance actuator motion system is formulated to characterise the interaction among electrical, magnetic, and mechanical parts. The simulation results show that the optimal design of the reluctance actuator works in the linear region, and for stable dynamic behaviour, the input current is limited by the critical current. Finally, a feedforward controller is designed based on the approximation of the force–current relationship to improve the tracking performances of the reluctance actuator motion system. The simulation results in time and frequency domains show an improvement in tracking performances using the feedforward controller.
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Comment cette classification a été obtenuedéplier
Prédiction machine sur la base complète
Imitation des enseignantsNi prévalence calibrée, ni vérité terrain. Validation humaine à venir. Le volet Gemma est une étiquette directe du modèle pour chaque travail de la base, lue sur la notice réduite au titre. Le volet Codex est un classifieur appris des 10 348 étiquettes directes de Codex et calibré sur les taux pondérés de l'échantillon; les champs sans appui suffisant ne portent aucun appel Codex. Le mode candidate est l'union des deux volets; le consensus est leur intersection. Ces sorties portent le statut machine_predicted_unvalidated et ne sont pas des étiquettes humaines.
Scores du classifieur distillé par catégorie (deux têtes)
| Catégorie | Codex | Gemma |
|---|---|---|
| Métarecherche | 0,001 | 0,001 |
| Méta-épidémiologie (sens strict) | 0,001 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens large) | 0,000 | 0,000 |
| Bibliométrie | 0,000 | 0,000 |
| Études des sciences et des technologies | 0,000 | 0,000 |
| Communication savante | 0,001 | 0,000 |
| Science ouverte | 0,000 | 0,000 |
| Intégrité de la recherche | 0,001 | 0,000 |
| Charge utile insuffisante (le modèle a refusé de juger) | 0,002 | 0,000 |
Scores machine (provisoires)
Les deux têtes enseignantes du modèle étudiant, lues sur ce travail. Un score ordonne la base pour la relecture; il n'affirme jamais une catégorie, et le statut de validation accompagne chaque rangée tel quel.
Scores de référence d'un modèle non mature (critères de maturité non atteints, 7 itérations). Un score ordonne; il n'affirme jamais une catégorie.
score_only:v0-immature-baseline · tel quel depuis la passe de notation : score_only signifie que le nombre peut ordonner les travaux, et qu'aucune étiquette de catégorie n'en découleClassification
machine, non validéePrédiction automatique; un appel candidat d’une seule source (Gemma direct ou Codex distillé), pas un consensus.
Le détail, modèle par modèle et score par score, se trouve en fin de page sous « Comment cette classification a été obtenue ».