Silicon-integrated monocrystalline oxide–nitride heterostructures for deep-ultraviolet optoelectronics
Notice bibliographique
Résumé
New opportunities for high-performance CMOS-compatible optoelectronic devices have accelerated the interest in vertically configured device topologies that enable next-generation photonic technologies. Lately, TiN has been identified as a promising refractory metal–ceramic for the hybrid integration of emerging semiconductor materials on a variety of substrates, including Si, MgO, and sapphire. Among these, Si is the least expensive and most commonly used element and substrate material in the semiconductor device industry. Following these examples, a hybrid oxide–nitride–Si stack is proposed and thoroughly investigated herein for its potential use in DUV optoelectronic device applications. The stack comprises β-Ga2O3 thin films grown heteroepitaxially on TiN/Si platforms, wherein the TiN interlayers were heteroepitaxially grown on bulk (100)-oriented Si and act as lattice-mismatched templates and bottom device electrodes. Albeit the relatively large lattice mismatch between Si and TiN, a low in-plane rotation of 3 ∘ revealed that the TiN layers continued to grow as a bulk crystal, paving the way for heteroepitaxial β-Ga2O3 thin films being grown without exhibiting amorphous and metastable phases. DUV photodetectors based on this optoelectronic heterostructure exhibited average peak spectral responsivity and external quantum efficiency levels as high as 249 A/W and 1.23 × 105%, respectively, in the ultraviolet-C regime at an illuminating power density of around 12 µW/cm2.
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Comment cette classification a été obtenuedéplier
Prédiction machine sur la base complète
Imitation des enseignantsNi prévalence calibrée, ni vérité terrain. Validation humaine à venir. Le volet Gemma est une étiquette directe du modèle pour chaque travail de la base, lue sur la notice réduite au titre. Le volet Codex est un classifieur appris des 10 348 étiquettes directes de Codex et calibré sur les taux pondérés de l'échantillon; les champs sans appui suffisant ne portent aucun appel Codex. Le mode candidate est l'union des deux volets; le consensus est leur intersection. Ces sorties portent le statut machine_predicted_unvalidated et ne sont pas des étiquettes humaines.
Scores du classifieur distillé par catégorie (deux têtes)
| Catégorie | Codex | Gemma |
|---|---|---|
| Métarecherche | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens strict) | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens large) | 0,000 | 0,000 |
| Bibliométrie | 0,000 | 0,000 |
| Études des sciences et des technologies | 0,000 | 0,000 |
| Communication savante | 0,000 | 0,000 |
| Science ouverte | 0,000 | 0,000 |
| Intégrité de la recherche | 0,000 | 0,000 |
| Charge utile insuffisante (le modèle a refusé de juger) | 0,001 | 0,000 |
Scores machine (provisoires)
Les deux têtes enseignantes du modèle étudiant, lues sur ce travail. Un score ordonne la base pour la relecture; il n'affirme jamais une catégorie, et le statut de validation accompagne chaque rangée tel quel.
Scores de référence d'un modèle non mature (critères de maturité non atteints, 7 itérations). Un score ordonne; il n'affirme jamais une catégorie.
score_only:v0-immature-baseline · tel quel depuis la passe de notation : score_only signifie que le nombre peut ordonner les travaux, et qu'aucune étiquette de catégorie n'en découleClassification
machine, non validéePrédiction automatique; un appel candidat d’une seule source (Gemma direct ou Codex distillé), pas un consensus.
Le détail, modèle par modèle et score par score, se trouve en fin de page sous « Comment cette classification a été obtenue ».