Low‐Energy UV Ultrafast Laser Controlled Lift‐Off for High‐Quality Flexible GaN‐Based Device
Notice bibliographique
Résumé
Abstract A one‐step laser lift‐off (LLO) for patterned gallium nitride (GaN) film and GaN‐based light‐emitting diode (LED) device is achieved using 355 nm picosecond laser irradiation in this research. The laser fluence required for separation is 0.09–0.13 J cm −2 , which is much lower than that for the currently reported LLO methods. The separated GaN film is intact with only 0.04 GPa of residual stress. The ultra‐smooth separated surface with root mean square roughness of only 5.2 nm is attributed to the interconnection of microcrack‐free flat cavities formed by the combination of high photon energy‐induced intrinsic absorption and subsequent plasma generation. The flat cavity with a depth‐to‐width ratio of 1:4000 limits the delamination region to a few nanometers at the GaN/sapphire interface. GaN‐based LED is transferred with perfect electroluminescence (EL) by the strategy. The stable EL spectral peak positions and intensity independent of the bending state prove that the presented low‐energy ultrafast LLO technique ensured the flexibility of the separated LED device without affecting the performance. This research provides a promising strategy to achieve the LLO of GaN devices with low energy consumption, high controllability, and high efficiency, which is significant for the industrial fabrication of flexible GaN‐based electronics.
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Comment cette classification a été obtenuedéplier
Prédiction distillée sur la base complète
Imitation des enseignantsNi prévalence calibrée, ni vérité terrain. Validation humaine à venir. Apprise à partir de 10 348 étiquettes directes de Codex et de 10 348 étiquettes directes de Gemma. Le mode candidate est l'union des têtes enseignantes seuillées; le consensus est leur intersection. Ces sorties portent le statut machine_predicted_unvalidated et ne sont ni des étiquettes humaines ni des étiquettes directes de modèles de pointe.
Scores Codex et Gemma par catégorie
| Catégorie | Codex | Gemma |
|---|---|---|
| Métarecherche | 0,001 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens strict) | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens large) | 0,001 | 0,000 |
| Bibliométrie | 0,000 | 0,000 |
| Études des sciences et des technologies | 0,001 | 0,000 |
| Communication savante | 0,000 | 0,000 |
| Science ouverte | 0,000 | 0,000 |
| Intégrité de la recherche | 0,000 | 0,000 |
| Charge utile insuffisante (le modèle a refusé de juger) | 0,017 | 0,000 |
Scores machine (provisoires)
Les deux têtes enseignantes du modèle étudiant, lues sur ce travail. Un score ordonne la base pour la relecture; il n'affirme jamais une catégorie, et le statut de validation accompagne chaque rangée tel quel.
Scores de référence d'un modèle non mature (critères de maturité non atteints, 7 itérations). Un score ordonne; il n'affirme jamais une catégorie.
score_only:v0-immature-baseline · tel quel depuis la passe de notation : score_only signifie que le nombre peut ordonner les travaux, et qu'aucune étiquette de catégorie n'en découleClassification
machine, non validéePrédiction automatique; un appel candidat d’une seule tête enseignante, pas un consensus.
Le détail, modèle par modèle et score par score, se trouve en fin de page sous « Comment cette classification a été obtenue ».