Influence of Glass Surface Modification on Thin Film Copper Electrodes
Pourquoi ce travail est dans la base
Une base qui oublie comment elle a trouvé un travail ne peut pas être vérifiée. Voici les voies qui ont admis celui-ci.
Notice bibliographique
Résumé
Large-area and ultra-high resolution displays continue to progress driven by new performance requirements and applications. As display sizes become larger, the industry demands metal electrodes with low resistance to reduce the gate delay time and signal distortion. Cu is an attractive candidate due to its relative low resistivity and its superior resistance to electromigration as opposed to materials such as Al or Mo. For bottom gate TFT technologies, the metal electrode is deposited directly on the glass substrate. Cu is known to have poor adhesion with oxide materials such as the substrate glass. Typically, an adhesion layer such as Ti, Mo, or other metal/alloy is required to improve the adhesion of Cu to the substrate. In this work, we modify Corning® Eagle XG® glass surfaces by various treatments to study the impact of the glass surface on the structural and electrical properties of Cu. Ti was used the adhesion layer in this study. Atomic force microscopy is used to examine the surface topography and the surface roughness of Cu. In-plane X-ray diffraction results characterize the crystallization and crystalline in-plane orientation of Cu. Transmission electron microscopy is used to further investigate the structure of the Ti and Cu films. The films properties are correlated with 4-point probe measurement of the sheet resistance. The film adhesion performance is determined using the tape test. The role of the glass surface state is demonstrated through its impact on the structural and electrical properties of Ti/Cu electrodes emanating from glass surface treatments.
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Prédiction distillée sur la base complète
Imitation des enseignantsNi prévalence calibrée, ni vérité terrain. Validation humaine à venir. Apprise à partir de 10 348 étiquettes directes de Codex et de 10 348 étiquettes directes de Gemma. Le mode candidate est l'union des têtes enseignantes seuillées; le consensus est leur intersection. Ces sorties portent le statut machine_predicted_unvalidated et ne sont ni des étiquettes humaines ni des étiquettes directes de modèles de pointe.
Scores Codex et Gemma par catégorie
| Catégorie | Codex | Gemma |
|---|---|---|
| Métarecherche | 0,001 | 0,001 |
| Méta-épidémiologie (sens strict) | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens large) | 0,000 | 0,000 |
| Bibliométrie | 0,000 | 0,000 |
| Études des sciences et des technologies | 0,000 | 0,000 |
| Communication savante | 0,000 | 0,000 |
| Science ouverte | 0,000 | 0,000 |
| Intégrité de la recherche | 0,000 | 0,000 |
| Charge utile insuffisante (le modèle a refusé de juger) | 0,000 | 0,000 |
Scores machine (provisoires)
Les deux têtes enseignantes du modèle étudiant, lues sur ce travail. Un score ordonne la base pour la relecture; il n'affirme jamais une catégorie, et le statut de validation accompagne chaque rangée tel quel.
Scores de référence d'un modèle non mature (critères de maturité non atteints, 7 itérations). Un score ordonne; il n'affirme jamais une catégorie.
score_only:v0-immature-baseline · tel quel depuis la passe de notation : score_only signifie que le nombre peut ordonner les travaux, et qu'aucune étiquette de catégorie n'en découle