Fundamentals of mega hertz femtosecond laser ablation and its application in interconnection via drilling
Notice bibliographique
Résumé
<p>With the ever increasing demands on electronics and its portability, speed and function, the need for lighter and faster processing chips is always there. 3D stacking of chips is enabled through Inter-chip connections or Interconnect vias, which is used to create the electrical connections that facilitate the stacking. Interconnect vias provide the connectivity between the layers of the physical design, resulting in short connection lengths, which improve performance and decrease power consumption significantly. This thesis proposes a high repetition rate, high power femtosecond laser drilling technique for surpassing the quality and throughput demand posed by the current market. A systematic study of the influence of the laser control parameters such as the repetition rate, pulse energy, intensity, wavelength, pulse duration, ablation threshold, quality and throughput rates is analyzed in detail. Decreasing via diameter and increasing via depth at high repetition rate are noted. A smallest via of 8.39 µm and a deepest via of 121 µm were obtained at 13 MHz and 4.33 MHz respectively. Minimal debris accumulation and exceptional surface qualities were noted at high repetition rates. Theoretical and experimental studies of shockwave effects during laser ablation on via surfaces were analyzed. Systematic process of learning the propagation of shockwaves and generating raised rims in ablated crater is analyzed. Analyzing surface temperature of the target revealed presence of small molten liquid layer at 13 MHz. Newly termed observations, primary and secondary rims, were observed and analyzed under the influence of various laser parameters. Rim line width spacings were seen increasing at higher pulse ;vidth and higher power density. Gas assisted ablation showed decreasing line width spacing due to forced convection. Hence, with the successful results from the studies, the laser system shows the capability of meeting and surpassing the current market demands and considered for commercial applications. </p>
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Comment cette classification a été obtenuedéplier
Prédiction distillée sur la base complète
Imitation des enseignantsNi prévalence calibrée, ni vérité terrain. Validation humaine à venir. Apprise à partir de 10 348 étiquettes directes de Codex et de 10 348 étiquettes directes de Gemma. Le mode candidate est l'union des têtes enseignantes seuillées; le consensus est leur intersection. Ces sorties portent le statut machine_predicted_unvalidated et ne sont ni des étiquettes humaines ni des étiquettes directes de modèles de pointe.
Scores Codex et Gemma par catégorie
| Catégorie | Codex | Gemma |
|---|---|---|
| Métarecherche | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens strict) | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens large) | 0,000 | 0,000 |
| Bibliométrie | 0,000 | 0,000 |
| Études des sciences et des technologies | 0,000 | 0,000 |
| Communication savante | 0,000 | 0,000 |
| Science ouverte | 0,000 | 0,000 |
| Intégrité de la recherche | 0,000 | 0,000 |
| Charge utile insuffisante (le modèle a refusé de juger) | 0,000 | 0,000 |
Scores machine (provisoires)
Les deux têtes enseignantes du modèle étudiant, lues sur ce travail. Un score ordonne la base pour la relecture; il n'affirme jamais une catégorie, et le statut de validation accompagne chaque rangée tel quel.
Scores de référence d'un modèle non mature (critères de maturité non atteints, 7 itérations). Un score ordonne; il n'affirme jamais une catégorie.
score_only:v0-immature-baseline · tel quel depuis la passe de notation : score_only signifie que le nombre peut ordonner les travaux, et qu'aucune étiquette de catégorie n'en découleClassification
machine, non validéePrédiction automatique; un appel candidat d’une seule tête enseignante, pas un consensus.
Le détail, modèle par modèle et score par score, se trouve en fin de page sous « Comment cette classification a été obtenue ».