Submicron and nano surface patterning using nanosecond laser technique
Notice bibliographique
Résumé
Direct writing by laser techniques in the micro and nanostructuring scale is very important for the fabrication of new materials and multifunctional devices. They have proven to be very successful tools for precision machining and microfabrication with applications in optical devices, microelectronics, medical device, biomedical, defense applications, and MEMS. Focused nanosecond (ns) laser pulses can produce periodic structures and arrays pattern structures in semiconductors and thin metallic film on shaped surfaces. The achievable structure size is restricted by the wavelength and diffraction limit as well as it is determined by material properties and laser pulse stability. This thesis proposes a nanosecond laser nanostructuring technique in common optical path configuration to examine the limitations of the currently used fabrication methods and type of setups used; the competitive edge is using nanosecond lasers as a tool. Prospectively, this technology can be applied for femtosecond laser fabrication, because this is an easy, simple and common optical path configuration. For this experimental setup, the use of a common optical path configuration for automatic interference offers equals path lengths. It is not required for complicated optical setups while in femtosecond laser setups, it is extremely important to use path compensation in order to offer time delay for one laser beam due to a long path and more optical components. A low repetition rate, low power nanosecond laser system is investigated to preventing the (HAZ) conditions. The influence of the laser repetition rate and pulse energy on the size and quality of submicron features which fabricated on silicon wafers and thin gold film is investigated. In terms of nanomachining below the ablation threshold (surface patterning), the influence of laser fluence, repetition rate and pulse energy on the spacing as well as diameter of dots created on silicon wafer surface is examined. These studies show the capability of the proposed system of nanosecond laser in common optical path configuration in meeting the industry requirements.
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Comment cette classification a été obtenuedéplier
Prédiction distillée sur la base complète
Imitation des enseignantsNi prévalence calibrée, ni vérité terrain. Validation humaine à venir. Apprise à partir de 10 348 étiquettes directes de Codex et de 10 348 étiquettes directes de Gemma. Le mode candidate est l'union des têtes enseignantes seuillées; le consensus est leur intersection. Ces sorties portent le statut machine_predicted_unvalidated et ne sont ni des étiquettes humaines ni des étiquettes directes de modèles de pointe.
Scores Codex et Gemma par catégorie
| Catégorie | Codex | Gemma |
|---|---|---|
| Métarecherche | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens strict) | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens large) | 0,000 | 0,000 |
| Bibliométrie | 0,000 | 0,000 |
| Études des sciences et des technologies | 0,000 | 0,000 |
| Communication savante | 0,001 | 0,000 |
| Science ouverte | 0,000 | 0,001 |
| Intégrité de la recherche | 0,001 | 0,001 |
| Charge utile insuffisante (le modèle a refusé de juger) | 0,000 | 0,000 |
Scores machine (provisoires)
Les deux têtes enseignantes du modèle étudiant, lues sur ce travail. Un score ordonne la base pour la relecture; il n'affirme jamais une catégorie, et le statut de validation accompagne chaque rangée tel quel.
Scores de référence d'un modèle non mature (critères de maturité non atteints, 7 itérations). Un score ordonne; il n'affirme jamais une catégorie.
score_only:v0-immature-baseline · tel quel depuis la passe de notation : score_only signifie que le nombre peut ordonner les travaux, et qu'aucune étiquette de catégorie n'en découleClassification
machine, non validéePrédiction automatique; un appel candidat d’une seule tête enseignante, pas un consensus.
Le détail, modèle par modèle et score par score, se trouve en fin de page sous « Comment cette classification a été obtenue ».