Notice bibliographique
Résumé
Current tunable devices such as filters, impedance matching networks and oscillators have problems that degrade their performance at high microwave frequencies. Tuning ratios and quality factors are the major problems associated with semiconductor based tuning components. This thesis presents the design, fabrication and testing of two novel RF MEMS tunable capacitors. The first tunable capacitor is designed using electrostatic repulsive-force actuators which produce an upward movement of the moving plate of a tunable capacitor. The repulsive-force actuator is free of pull-in effect and capable of reaching large displacement. Gap increasing tunable capacitors with areas of 162μm×220μm and 300μm×302μm are developed using electrostatic repulsive-force actuators. The capacitances are calculated using simulations and maximum tuning ratios of 438.5% and 230% are obtained for a parallel and inclined plate designs, respectively, with capacitance-voltage linearity of 96.28% and 95.14%, respectively, in the presence of RF voltage. The second tunable capacitor is developed using residual stress gradient based vertical comb-drive actuator. Conventional vertical comb-drive actuators need two vertical comb fingers, i.e., one for the fixed and one for the moving comb. MetalMUMPs process provides a 20μm thick nickel layer which is subject to residual stress gradient along its thickness. Using the residual stress gradient two curve-up beams are devised to bend out of plane and upward. A moving plate is connected between the middles of the curve-up beams through supporting springs and is raised above the substrate. The moving fingers are connected to opposite sides of the moving plate. The fixed comb-drive fingers are anchored to the substrate. When a voltage is applied, the moving fingers move down towards the fixed fingers. As a result, the capacitance between the moving fingers and the fixed fingers change. Prototypes are fabricated to verify the working principles of this novel actuator using the MetalMUMPs process. Tunable capacitors based on this actuator are experimentally analyzed. Quality factors of 106.9-162.7 at 0.8GHz and 42.4-51.9 at 1.24GHz are obtained over actuation voltage of 0-100V. An optimal design of the tunable capacitors achieved a tuning ratio of 194.4% at 162.5V with linearity of 97.84%
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Comment cette classification a été obtenuedéplier
Prédiction machine sur la base complète
Imitation des enseignantsNi prévalence calibrée, ni vérité terrain. Validation humaine à venir. Le volet Gemma est une étiquette directe du modèle pour chaque travail de la base, lue sur la notice réduite au titre. Le volet Codex est un classifieur appris des 10 348 étiquettes directes de Codex et calibré sur les taux pondérés de l'échantillon; les champs sans appui suffisant ne portent aucun appel Codex. Le mode candidate est l'union des deux volets; le consensus est leur intersection. Ces sorties portent le statut machine_predicted_unvalidated et ne sont pas des étiquettes humaines.
Scores du classifieur distillé par catégorie (deux têtes)
| Catégorie | Codex | Gemma |
|---|---|---|
| Métarecherche | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens strict) | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens large) | 0,000 | 0,000 |
| Bibliométrie | 0,000 | 0,000 |
| Études des sciences et des technologies | 0,000 | 0,000 |
| Communication savante | 0,001 | 0,001 |
| Science ouverte | 0,001 | 0,000 |
| Intégrité de la recherche | 0,001 | 0,000 |
| Charge utile insuffisante (le modèle a refusé de juger) | 0,003 | 0,001 |
Scores machine (provisoires)
Les deux têtes enseignantes du modèle étudiant, lues sur ce travail. Un score ordonne la base pour la relecture; il n'affirme jamais une catégorie, et le statut de validation accompagne chaque rangée tel quel.
Scores de référence d'un modèle non mature (critères de maturité non atteints, 7 itérations). Un score ordonne; il n'affirme jamais une catégorie.
score_only:v0-immature-baseline · tel quel depuis la passe de notation : score_only signifie que le nombre peut ordonner les travaux, et qu'aucune étiquette de catégorie n'en découleClassification
machine, non validéePrédiction automatique; un appel candidat d’une seule source (Gemma direct ou Codex distillé), pas un consensus.
Le détail, modèle par modèle et score par score, se trouve en fin de page sous « Comment cette classification a été obtenue ».