Combined Surface Activated Bonding Technique for Hydrophilic SiO<sub>2</sub>-SiO<sub>2</sub> and Cu-Cu Bonding
Pourquoi ce travail est dans la base
Une base qui oublie comment elle a trouvé un travail ne peut pas être vérifiée. Voici les voies qui ont admis celui-ci.
Notice bibliographique
Résumé
As an evolution of the Cu-Cu bonding and SiO 2 -SiO 2 bonding, Cu/SiO 2 hybrid bonding is a promising approach to the emerging three-dimensional (3D) integration of microelectronic/photonic systems, since it obtains both direct metal interconnection and enhanced thermal/mechanical stability with a seamless bonding structure during the single bonding process. 1,2 However, because of the different features of Cu-Cu and SiO 2 -SiO 2 bonding, Cu/SiO 2 hybrid bonding at low temperatures of no more than 200 °C remains challenging. For instance, the Cu-Cu thermo-compression bonding is typically conducted in vacuum or dry protecting/reducing atmospheres after removal of surface oxides, 3–7 while the SiO 2 -SiO 2 bonding needs a humid environment to facilitate termination of Si-OH bonding sites. 8–12 It is highly desired to develop a new bonding process that is effective for both Cu-Cu and SiO 2 -SiO 2 bonding in H 2 O-free ambient, such as vacuum, for improvement of the Cu/SiO 2 hybrid bonding. Recently, we proposed a combined surface-activated bonding (SAB) method, which involves a combination of surface bombardment using a Si-containing Ar beam and prebonding attach-detach procedure prior to bonding in vacuum. High SiO 2 -SiO 2 bonding strength of close to the Si bulk fracture strength has been realized at 200 °C. In this paper, we report our recent results of Cu-Cu and SiO 2 -SiO 2 bonding by using the combined SAB method. The mechanism is discussed to understand the present low-temperature bonding technique. References 1. L. D. Cioccio et al., J. Electrochem. Soc. , 158 , P81–P86 (2011). 2. H. Moriceau et al., Microelectron. Reliab. , 52 , 331–341 (2012). 3. W. Yang, M. Akaike, M. Fujino, and T. Suga, ECS J. Solid State Sci. Technol. , 2 , P271–P274 (2013). 4. W. Yang, M. Akaike, and T. Suga, IEEE Trans. Compon. Packag. Manuf. Technol. , 4 , 951–956 (2014). 5. B. Rebhan and K. Hingerl, J. Appl. Phys. , 118 , 135301 (2015). 6. T. H. Kim, M. M. R. Howlader, T. Itoh, and T. Suga, J. Vac. Sci. Technol. A , 21 , 449–453 (2003). 7. A. Shigetou, T. Itoh, K. Sawada, and T. Suga, IEEE Trans. Adv. Packag. , 31 , 473–478 (2008). 8. Q.-Y. Tong and U. M. Gösele, Adv. Mater. , 11 , 1409–1425 (1999). 9. T. Suni, K. Henttinen, I. Suni, and J. Mäkinen, J. Electrochem. Soc. , 149 , G348–G351 (2002). 10. F. Fournel et al., ECS J. Solid State Sci. Technol. , 4 , P124–P130 (2015). 11. H. Takagi, J. Utsumi, M. Takahashi, and R. Maeda, ECS Trans. , 16 , 531–537 (2008). 12. R. He, M. Fujino, A. Yamauchi, and T. Suga, Jpn. J. Appl. Phys. , 54 , 030218 (2015).
Récupéré en direct depuis OpenAlex et désinversé. Les résumés ne sont pas conservés dans cette base de données : les index inversés représentent 8,6 Go des 9,3 Go de texte de la base, et le serveur dispose de 13 Go libres.
Prédiction distillée sur la base complète
Imitation des enseignantsNi prévalence calibrée, ni vérité terrain. Validation humaine à venir. Apprise à partir de 10 348 étiquettes directes de Codex et de 10 348 étiquettes directes de Gemma. Le mode candidate est l'union des têtes enseignantes seuillées; le consensus est leur intersection. Ces sorties portent le statut machine_predicted_unvalidated et ne sont ni des étiquettes humaines ni des étiquettes directes de modèles de pointe.
Scores Codex et Gemma par catégorie
| Catégorie | Codex | Gemma |
|---|---|---|
| Métarecherche | 0,001 | 0,001 |
| Méta-épidémiologie (sens strict) | 0,001 | 0,001 |
| Méta-épidémiologie (sens large) | 0,001 | 0,000 |
| Bibliométrie | 0,000 | 0,000 |
| Études des sciences et des technologies | 0,000 | 0,000 |
| Communication savante | 0,000 | 0,000 |
| Science ouverte | 0,000 | 0,000 |
| Intégrité de la recherche | 0,001 | 0,001 |
| Charge utile insuffisante (le modèle a refusé de juger) | 0,000 | 0,000 |
Scores machine (provisoires)
Les deux têtes enseignantes du modèle étudiant, lues sur ce travail. Un score ordonne la base pour la relecture; il n'affirme jamais une catégorie, et le statut de validation accompagne chaque rangée tel quel.
Scores de référence d'un modèle non mature (critères de maturité non atteints, 7 itérations). Un score ordonne; il n'affirme jamais une catégorie.
score_only:v0-immature-baseline · tel quel depuis la passe de notation : score_only signifie que le nombre peut ordonner les travaux, et qu'aucune étiquette de catégorie n'en découle