Effect of Secondary Electron Emission From Various Targets During Variable Pulse Length PIII
Notice bibliographique
Résumé
Plasma Immersion Ion Implantation(PIII) is a versatile material processing technique [1] , [2] . In PIII a solid target is immersed in plasma, and negative-polarity high-voltage(NPHV) pulses are applied to the target. During a NPHV pulse electrons are repelled from the near-target region, resulting in a positive ion sheath surrounding the target; ions traversing the sheath are implanted into the target surface. Lieberman et al. [2] developed a PIII sheath model which captures basic aspects of the sheath evolution during PIII pulses. However, some key assumptions used in this model do not hold. In particular, experiments show that the plasma density and electron temperature do not remain constant during the NPHV pulses, due to various effects, including the effect of secondary electrons ejected from the target. The ejected electrons accelerate back through the sheath, depositing their energy in the bulk plasma; this can significantly increase the plasma density and electron temperature above the nominal steady-state values measured before the PIII pulse [3] , [4] , [5] . To further elucidate the effect of secondary electrons, we report on recent PIII experiments with variable pulse lengths(10us-100us) on a range of target materials including silicon, stainless steel, brass, and tungsten alloys with a range of NPHV pulse amplitudes(1-5 kV). We discuss the results of these experiments and the various mechanisms involved.
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Comment cette classification a été obtenuedéplier
Prédiction distillée sur la base complète
Imitation des enseignantsNi prévalence calibrée, ni vérité terrain. Validation humaine à venir. Apprise à partir de 10 348 étiquettes directes de Codex et de 10 348 étiquettes directes de Gemma. Le mode candidate est l'union des têtes enseignantes seuillées; le consensus est leur intersection. Ces sorties portent le statut machine_predicted_unvalidated et ne sont ni des étiquettes humaines ni des étiquettes directes de modèles de pointe.
Scores Codex et Gemma par catégorie
| Catégorie | Codex | Gemma |
|---|---|---|
| Métarecherche | 0,001 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens strict) | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens large) | 0,000 | 0,000 |
| Bibliométrie | 0,000 | 0,001 |
| Études des sciences et des technologies | 0,000 | 0,000 |
| Communication savante | 0,000 | 0,000 |
| Science ouverte | 0,001 | 0,000 |
| Intégrité de la recherche | 0,000 | 0,001 |
| Charge utile insuffisante (le modèle a refusé de juger) | 0,002 | 0,000 |
Scores machine (provisoires)
Les deux têtes enseignantes du modèle étudiant, lues sur ce travail. Un score ordonne la base pour la relecture; il n'affirme jamais une catégorie, et le statut de validation accompagne chaque rangée tel quel.
Scores de référence d'un modèle non mature (critères de maturité non atteints, 7 itérations). Un score ordonne; il n'affirme jamais une catégorie.
score_only:v0-immature-baseline · tel quel depuis la passe de notation : score_only signifie que le nombre peut ordonner les travaux, et qu'aucune étiquette de catégorie n'en découleClassification
machine, non validéePrédiction automatique; un appel candidat d’une seule tête enseignante, pas un consensus.
Le détail, modèle par modèle et score par score, se trouve en fin de page sous « Comment cette classification a été obtenue ».