Electrical Characterisation of HfZrO2 Ferroelectric Tunnel Junctions for Neuromorphic Application
Notice bibliographique
Résumé
Ferroelectric Tunnel Junctions (FTJ), which can modulate their electro-resistance depending on the polarisation configuration, have demonstrated multi-state, synaptic behaviour [1]. Hf0.5Zr0.5O2 (HZO) based FTJs are an ideal solution for the industrial implementation of brain inspired computing thanks to the low annealing temperature of HZO and its full compatibility with industrial processes. In this work, we present the development of HZO-based FTJs on silicon substrates and their electrical characterisation. A TiN/HZO/Al2O3/TiN structure was fabricated by reactive magnetron sputtering with 11 nm of HZO crystallised using rapid thermal annealing [2,3]. The dielectric layer of Al2O3 was formed from the deposition of Al and the scavanging of oxygen from the HZO layer, leading to increased conductance and enhancing the asymmetry of the junction to reach higher electro-resistance values. The structural properties were investigated by X-ray reflectometry and grazing incidence X-ray diffraction. Positive-Up-Negative-Down measurements with engineered pulse parameters along with quasi-static current-voltage measurements were conducted to evaluate and control the ferroelectric switching of the devices together with their electro-resistance. Cycling measurements were carried out to investigate the evolution of the polarisation and of the resistance ratio until breakdown. Dominant conduction mechanisms across the junction were evaluated by means of in temperature current-voltage measurements and modelling. References: [1] Boyn, S., Grollier, J., Lecerf, G. et al., Nat Commun 8, 14736 (2017). [2] Bouaziz, J. et al., APL Materials 7, 081109 (2019). [3] Bouaziz, PR Romeo, N Baboux, B VilquinACS Applied Electronic Materials 1, 1740-1745 (2019)
Récupéré en direct depuis OpenAlex et désinversé. Les résumés ne sont pas conservés dans cette base de données : les index inversés représentent 8,6 Go des 9,3 Go de texte de la base, et le serveur dispose de 13 Go libres.
Comment cette classification a été obtenuedéplier
Prédiction machine sur la base complète
Imitation des enseignantsNi prévalence calibrée, ni vérité terrain. Validation humaine à venir. Le volet Gemma est une étiquette directe du modèle pour chaque travail de la base, lue sur la notice réduite au titre. Le volet Codex est un classifieur appris des 10 348 étiquettes directes de Codex et calibré sur les taux pondérés de l'échantillon; les champs sans appui suffisant ne portent aucun appel Codex. Le mode candidate est l'union des deux volets; le consensus est leur intersection. Ces sorties portent le statut machine_predicted_unvalidated et ne sont pas des étiquettes humaines.
Scores du classifieur distillé par catégorie (deux têtes)
| Catégorie | Codex | Gemma |
|---|---|---|
| Métarecherche | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens strict) | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens large) | 0,000 | 0,000 |
| Bibliométrie | 0,000 | 0,000 |
| Études des sciences et des technologies | 0,000 | 0,000 |
| Communication savante | 0,000 | 0,000 |
| Science ouverte | 0,000 | 0,000 |
| Intégrité de la recherche | 0,000 | 0,000 |
| Charge utile insuffisante (le modèle a refusé de juger) | 0,002 | 0,000 |
Scores machine (provisoires)
Les deux têtes enseignantes du modèle étudiant, lues sur ce travail. Un score ordonne la base pour la relecture; il n'affirme jamais une catégorie, et le statut de validation accompagne chaque rangée tel quel.
Scores de référence d'un modèle non mature (critères de maturité non atteints, 7 itérations). Un score ordonne; il n'affirme jamais une catégorie.
score_only:v0-immature-baseline · tel quel depuis la passe de notation : score_only signifie que le nombre peut ordonner les travaux, et qu'aucune étiquette de catégorie n'en découleClassification
machine, non validéePrédiction automatique; un appel candidat d’une seule source (Gemma direct ou Codex distillé), pas un consensus.
Le détail, modèle par modèle et score par score, se trouve en fin de page sous « Comment cette classification a été obtenue ».