Optical Emission Spectroscopic Diagnostics of Atmospheric Argon Radio Frequency Inductively Coupled Plasma
Notice bibliographique
Résumé
Abstract An experimental study is conducted to determine the property fields of 40 MHz argon radio frequency inductively coupled plasma using optical emission spectroscopy. The pure argon plasma was operated at the input power of 0.3 kW and under atmospheric pressure. 29 atomic argon lines with upper level energies ranging from 12.9 to 15.5 eV, continuum emission and line width are used to evaluate plasma parameters such as temperature and electron number density. Since 40 MHz plasma is in almost complete nonequilibrium, the validaty and accuracy of most usual spectroscopic methods are questioned. Analysis based on the Boltzmann diagram, line-to-continuum intensity ratio, population of continuum extrapolated level, and continuum intensity reveals the departure from thermodynamic equilibrium in the plasma. Among these methods, the Boltzmann diagram method is shown to provide reliable plasma excitation temperature as long as the Boltzmann plot is drawn based on enough spectra lines covering from infrared to ultraviolet regions. The continuum emission at wavelengths within visible region can give good estimation of the electron density by using excitation temperature in the continuum relation. The line-to-continuum is not a reliable method for the temperature measurement of nonequilibrim plasma. The electron density obtained from the Saha plot can provide rough estimation of the electron density. It is shown that the electron-atom interaction contribution to the continuum radiation is more important than being expected before for the argon plasma in our study. The non-axisymmetric distribution of the emission was found to exist within the coil zone of the plasma, which may affect the estimation of the local emission coefficient, and consequently the measured plasma fields.
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Comment cette classification a été obtenuedéplier
Prédiction distillée sur la base complète
Imitation des enseignantsNi prévalence calibrée, ni vérité terrain. Validation humaine à venir. Apprise à partir de 10 348 étiquettes directes de Codex et de 10 348 étiquettes directes de Gemma. Le mode candidate est l'union des têtes enseignantes seuillées; le consensus est leur intersection. Ces sorties portent le statut machine_predicted_unvalidated et ne sont ni des étiquettes humaines ni des étiquettes directes de modèles de pointe.
Scores Codex et Gemma par catégorie
| Catégorie | Codex | Gemma |
|---|---|---|
| Métarecherche | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens strict) | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens large) | 0,000 | 0,000 |
| Bibliométrie | 0,000 | 0,000 |
| Études des sciences et des technologies | 0,000 | 0,000 |
| Communication savante | 0,000 | 0,000 |
| Science ouverte | 0,000 | 0,000 |
| Intégrité de la recherche | 0,000 | 0,000 |
| Charge utile insuffisante (le modèle a refusé de juger) | 0,000 | 0,000 |
Scores machine (provisoires)
Les deux têtes enseignantes du modèle étudiant, lues sur ce travail. Un score ordonne la base pour la relecture; il n'affirme jamais une catégorie, et le statut de validation accompagne chaque rangée tel quel.
Scores de référence d'un modèle non mature (critères de maturité non atteints, 7 itérations). Un score ordonne; il n'affirme jamais une catégorie.
score_only:v0-immature-baseline · tel quel depuis la passe de notation : score_only signifie que le nombre peut ordonner les travaux, et qu'aucune étiquette de catégorie n'en découleClassification
machine, non validéePrédiction automatique; un appel candidat d’une seule tête enseignante, pas un consensus.
Le détail, modèle par modèle et score par score, se trouve en fin de page sous « Comment cette classification a été obtenue ».