A Gate-All-Around inO Nanoribbon FET With Near 20 mA/m Drain Current<sub/> <sub/> <sub/>
Notice bibliographique
Résumé
In this work, we demonstrate atomic-layer-deposited (ALD) single-channel indium oxide (In2O3) gate-all-around (GAA) nanoribbon field-effect transistors (FETs) in a back-end-of-line (BEOL) compatible process. A maximum on-state current (ION) of 19.3 mA/$\mu \text{m}$(near 20 mA/$\mu \text{m}$) and an on/off ratio of 106 are achieved in an In2O3 GAA nanoribbon FET with a channel thickness (TIO) of 3.1 nm, channel length (Lch) of 40 nm, channel width (Wch) of 30 nm and dielectric HfO2 of 5 nm. Short-pulse measurements are applied to mitigate the self-heating effect induced by the ultra-high drain current flowing in the ultra-thin channel layer. The record high drain current obtained from an In2O3 FET is about one order of magnitude higher than any conventional single-channel semiconductor FETs. This extraordinary drain current and its related on-state performance demonstrate that ALD In2O3 is a promising oxide semiconductor channel with great opportunities in BEOL compatible monolithic 3D integration.
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Comment cette classification a été obtenuedéplier
Prédiction machine sur la base complète
Imitation des enseignantsNi prévalence calibrée, ni vérité terrain. Validation humaine à venir. Le volet Gemma est une étiquette directe du modèle pour chaque travail de la base, lue sur la notice réduite au titre. Le volet Codex est un classifieur appris des 10 348 étiquettes directes de Codex et calibré sur les taux pondérés de l'échantillon; les champs sans appui suffisant ne portent aucun appel Codex. Le mode candidate est l'union des deux volets; le consensus est leur intersection. Ces sorties portent le statut machine_predicted_unvalidated et ne sont pas des étiquettes humaines.
Scores du classifieur distillé par catégorie (deux têtes)
| Catégorie | Codex | Gemma |
|---|---|---|
| Métarecherche | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens strict) | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens large) | 0,000 | 0,000 |
| Bibliométrie | 0,000 | 0,000 |
| Études des sciences et des technologies | 0,000 | 0,000 |
| Communication savante | 0,000 | 0,000 |
| Science ouverte | 0,000 | 0,000 |
| Intégrité de la recherche | 0,000 | 0,000 |
| Charge utile insuffisante (le modèle a refusé de juger) | 0,001 | 0,001 |
Scores machine (provisoires)
Les deux têtes enseignantes du modèle étudiant, lues sur ce travail. Un score ordonne la base pour la relecture; il n'affirme jamais une catégorie, et le statut de validation accompagne chaque rangée tel quel.
Scores de référence d'un modèle non mature (critères de maturité non atteints, 7 itérations). Un score ordonne; il n'affirme jamais une catégorie.
score_only:v0-immature-baseline · tel quel depuis la passe de notation : score_only signifie que le nombre peut ordonner les travaux, et qu'aucune étiquette de catégorie n'en découleClassification
machine, non validéePrédiction automatique; un appel candidat d’une seule source (Gemma direct ou Codex distillé), pas un consensus.
Le détail, modèle par modèle et score par score, se trouve en fin de page sous « Comment cette classification a été obtenue ».