Effect of Substrate Temperature on the Structural, Optical and Electrical Properties of DC Magnetron Sputtered VO2 Thin Films
Notice bibliographique
Résumé
This study focuses on the effect of the substrate temperature (TS) on the quality of VO2 thin films prepared by DC magnetron sputtering. TS was varied from 350 to 600 °C and the effects on the surface morphology, microstructure, optical and electrical properties of the films were investigated. The results show that TS below 500 °C favors the growth of V2O5 phase, whereas higher TS (≥500 °C) facilitates the formation of the VO2 phase. Optical characterization of the as-prepared VO2 films displayed a reduced optical transmittance (T˜) across the near-infrared region (NIR), reduced phase transition temperature (Tt), and broadened hysteresis width (ΔH) through the phase transition region. In addition, a decline of the luminous modulation (ΔT˜lum) and solar modulation (ΔT˜sol) efficiencies of the as-prepared films have been determined. Furthermore, compared with the high-quality films reported previously, the electrical conductivity (σ) as a function of temperature (T) reveals reduced conductivity contrast (Δσ) between the insulating and metallic phases of the VO2 films, which was of the order of 2. These outcomes indicated the presence of defects and unrelaxed lattice strain in the films. Further, the comparison of present results with those in the literature from similar works show that the preparation of high-quality films at TS lower than 650 °C presents significant challenges.
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Scores Codex et Gemma par catégorie
| Catégorie | Codex | Gemma |
|---|---|---|
| Métarecherche | 0,001 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens strict) | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens large) | 0,001 | 0,000 |
| Bibliométrie | 0,000 | 0,000 |
| Études des sciences et des technologies | 0,000 | 0,000 |
| Communication savante | 0,000 | 0,000 |
| Science ouverte | 0,000 | 0,000 |
| Intégrité de la recherche | 0,000 | 0,000 |
| Charge utile insuffisante (le modèle a refusé de juger) | 0,002 | 0,000 |
Scores machine (provisoires)
Les deux têtes enseignantes du modèle étudiant, lues sur ce travail. Un score ordonne la base pour la relecture; il n'affirme jamais une catégorie, et le statut de validation accompagne chaque rangée tel quel.
Scores de référence d'un modèle non mature (critères de maturité non atteints, 7 itérations). Un score ordonne; il n'affirme jamais une catégorie.
score_only:v0-immature-baseline · tel quel depuis la passe de notation : score_only signifie que le nombre peut ordonner les travaux, et qu'aucune étiquette de catégorie n'en découleClassification
machine, non validéePrédiction automatique; un appel candidat d’une seule tête enseignante, pas un consensus.
Le détail, modèle par modèle et score par score, se trouve en fin de page sous « Comment cette classification a été obtenue ».