Process Development of Amorphous Indium Tin Gallium Oxide (ITGO) Thin Film Transistors
Notice bibliographique
Résumé
The invention of portable electronic devices had a huge impact on the growing interest in flat panel displays. Since the first report in 2004 on amorphous Indium Gallium Zinc Oxide (a-IGZO) thin film transistors (TFTs), many companies have become interested in this material. The main advantage of a-IGZO over conventional amorphous silicon TFTs is its steep subthreshold, low off state current, and high channel mobility. However, the demand for larger displays with higher resolution and refresh rates is driving the demand for TFTs with higher performance, while avoiding the cost and complexity associated with low temperature polycrystalline silicon. There is an increased focus on alternative amorphous oxide semiconductors for use as TFT channel materials, due to the success of a-IGZO. The focus of this study is an investigation on Indium-Tin-Gallium-Oxide (ITGO) TFTs. Unpassivated bottom-gate devices were fabricated with a 30nm a-ITGO film, sputter deposited with 1% and 10% oxygen gas ambient, followed by a 2 hour anneal at 300 o C in oxygen. Devices fabricated with P O2 = 1% resulted in a highly conductive channel. Devices with P O2 = 10% displayed semiconducting behavior and a shallow subthreshold. This trend held for all device dimensions tested; lengths of 24µm, 12µm, and 6µm with a width of 24µm. Compared to a-IGZO devices with a length of 4µm, ITGO devices with a length of 12µm exhibit an equivalent current drive, implying a 3 to 4 times improvement in mobility. Following aging in room ambient for multiple days, a-ITGO devices displayed improved yet left-shifted transfer characteristics. In unpassivated a-IGZO devices, similar behavior can also be observed and is attributed to an inhomogeneous trap distribution across the channel. As the exposed channel reacts with room air, oxygen vacancies are filled resulting in a more homogeneous trap distribution. A radial variation of device performance from the center of the wafer to the edge was also observed. When measuring devices towards the edge of the wafer a considerable left shift in transfer characteristics was observed. This variation in device performance is believed to be attributed to non-uniformities in the as deposited ITGO film and will be related to material optical parameters. Figure 1
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Comment cette classification a été obtenuedéplier
Prédiction distillée sur la base complète
Imitation des enseignantsNi prévalence calibrée, ni vérité terrain. Validation humaine à venir. Apprise à partir de 10 348 étiquettes directes de Codex et de 10 348 étiquettes directes de Gemma. Le mode candidate est l'union des têtes enseignantes seuillées; le consensus est leur intersection. Ces sorties portent le statut machine_predicted_unvalidated et ne sont ni des étiquettes humaines ni des étiquettes directes de modèles de pointe.
Scores Codex et Gemma par catégorie
| Catégorie | Codex | Gemma |
|---|---|---|
| Métarecherche | 0,001 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens strict) | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens large) | 0,000 | 0,000 |
| Bibliométrie | 0,000 | 0,000 |
| Études des sciences et des technologies | 0,000 | 0,000 |
| Communication savante | 0,000 | 0,000 |
| Science ouverte | 0,001 | 0,000 |
| Intégrité de la recherche | 0,000 | 0,001 |
| Charge utile insuffisante (le modèle a refusé de juger) | 0,000 | 0,000 |
Scores machine (provisoires)
Les deux têtes enseignantes du modèle étudiant, lues sur ce travail. Un score ordonne la base pour la relecture; il n'affirme jamais une catégorie, et le statut de validation accompagne chaque rangée tel quel.
Scores de référence d'un modèle non mature (critères de maturité non atteints, 7 itérations). Un score ordonne; il n'affirme jamais une catégorie.
score_only:v0-immature-baseline · tel quel depuis la passe de notation : score_only signifie que le nombre peut ordonner les travaux, et qu'aucune étiquette de catégorie n'en découleClassification
machine, non validéePrédiction automatique; un appel candidat d’une seule tête enseignante, pas un consensus.
Le détail, modèle par modèle et score par score, se trouve en fin de page sous « Comment cette classification a été obtenue ».