Cut-and-pasting ligands: The structure/function relationships of a thermally robust Mo(VI) precursor
Notice bibliographique
Résumé
The bis(tert-butylimido)-molybdenum(VI) framework has previously been used for the successful atomic layer deposition (ALD) and chemical vapor deposition of many molybdenum-containing thin films. Here, we have prepared and fully characterized a new thermally robust bis(tert-butylimido)molybdenum(VI) complex, bis(tert-butylimido)-bis(N-2-(tert-butyliminomethyl)pyrrolato)-molybdenum(VI), (tBuN)2Mo(PyrIm)2 (1), that incorporates two N,N’-κ2-monoanionic ligands. The volatility and thermal stability of 1 were measured using thermogravimetric analysis and differential scanning calorimetry, where it was found to achieve a vapor pressure of 1 Torr at 212 °C and had an onset of thermal decomposition at 273 °C. A comparison of its thermal properties with those of the known ALD precursor (tBuN)2Mo(dpamd)2 (dpamd = N,N’-diisopropyl-acetamidinato) showed that 1 had similar volatility but a 78 °C improvement in thermal stability. Preliminary deposition experiments indicated that 1 should be a good ALD precursor; it exhibited self-limiting adsorption and did not decompose on the surface until at least 500 °C, features that will enable its use in the development of new high-temperature ALD processes.
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Comment cette classification a été obtenuedéplier
Prédiction distillée sur la base complète
Imitation des enseignantsNi prévalence calibrée, ni vérité terrain. Validation humaine à venir. Apprise à partir de 10 348 étiquettes directes de Codex et de 10 348 étiquettes directes de Gemma. Le mode candidate est l'union des têtes enseignantes seuillées; le consensus est leur intersection. Ces sorties portent le statut machine_predicted_unvalidated et ne sont ni des étiquettes humaines ni des étiquettes directes de modèles de pointe.
Scores Codex et Gemma par catégorie
| Catégorie | Codex | Gemma |
|---|---|---|
| Métarecherche | 0,001 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens strict) | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens large) | 0,000 | 0,000 |
| Bibliométrie | 0,000 | 0,001 |
| Études des sciences et des technologies | 0,001 | 0,000 |
| Communication savante | 0,000 | 0,000 |
| Science ouverte | 0,000 | 0,000 |
| Intégrité de la recherche | 0,000 | 0,001 |
| Charge utile insuffisante (le modèle a refusé de juger) | 0,000 | 0,000 |
Scores machine (provisoires)
Les deux têtes enseignantes du modèle étudiant, lues sur ce travail. Un score ordonne la base pour la relecture; il n'affirme jamais une catégorie, et le statut de validation accompagne chaque rangée tel quel.
Scores de référence d'un modèle non mature (critères de maturité non atteints, 7 itérations). Un score ordonne; il n'affirme jamais une catégorie.
score_only:v0-immature-baseline · tel quel depuis la passe de notation : score_only signifie que le nombre peut ordonner les travaux, et qu'aucune étiquette de catégorie n'en découleClassification
machine, non validéePrédiction automatique; un appel candidat d’une seule tête enseignante, pas un consensus.
Le détail, modèle par modèle et score par score, se trouve en fin de page sous « Comment cette classification a été obtenue ».