Nanowire Template Assisted Epitaxy of Ultrawide Bandgap III-Nitrides on Si: Role of the Nanowire Template
Notice bibliographique
Résumé
Ultrawide bandgap III-nitrides, including AlN and high Al content AlGaN alloys, are of great importance for applications to deep ultraviolet photonics and radio frequency electronics. However, lack of suitable substrates remains a challenge. In this context, we investigate the molecular beam epitaxy of AlN and high Al content AlGaN epilayers on low-cost Si substrates using a nanowire template as an intermediate layer. First, the role of the nanowire template on the quality of AlN is elucidated. By comparing AlN epilayers grown with and without the nanowire template over a wide range of growth conditions, it is found that using the nanowire template can relax the tensile strain in the AlN epilayers, as well as improve the overall crystalline quality. Second, the role of the quality of the AlN epilayer on the quality of the p-AlGaN layer grown on top is further discussed. It is found that the improved quality of AlN, due to the use of the nanowire template, also transfers to the improvement of the p-type doping in the AlGaN epilayers grown on top, which further contributes to a drastic improvement on the electrical performance of AlGaN p-i-n diodes, i.e., a factor of 10 4 reduction on the reverse bias leakage current, as well as a 250× improvement on the light output, comparing the structure with and without using the nanowire template. The study potentially impacts the development of ultrawide bandgap III-nitrides on foreign substrates as well as low-cost ultrawide bandgap III-nitride template technologies for a wide range of electronic and photonic device applications.
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Comment cette classification a été obtenuedéplier
Prédiction distillée sur la base complète
Imitation des enseignantsNi prévalence calibrée, ni vérité terrain. Validation humaine à venir. Apprise à partir de 10 348 étiquettes directes de Codex et de 10 348 étiquettes directes de Gemma. Le mode candidate est l'union des têtes enseignantes seuillées; le consensus est leur intersection. Ces sorties portent le statut machine_predicted_unvalidated et ne sont ni des étiquettes humaines ni des étiquettes directes de modèles de pointe.
Scores Codex et Gemma par catégorie
| Catégorie | Codex | Gemma |
|---|---|---|
| Métarecherche | 0,001 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens strict) | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens large) | 0,001 | 0,000 |
| Bibliométrie | 0,000 | 0,000 |
| Études des sciences et des technologies | 0,000 | 0,000 |
| Communication savante | 0,000 | 0,000 |
| Science ouverte | 0,001 | 0,000 |
| Intégrité de la recherche | 0,000 | 0,000 |
| Charge utile insuffisante (le modèle a refusé de juger) | 0,001 | 0,000 |
Scores machine (provisoires)
Les deux têtes enseignantes du modèle étudiant, lues sur ce travail. Un score ordonne la base pour la relecture; il n'affirme jamais une catégorie, et le statut de validation accompagne chaque rangée tel quel.
Scores de référence d'un modèle non mature (critères de maturité non atteints, 7 itérations). Un score ordonne; il n'affirme jamais une catégorie.
score_only:v0-immature-baseline · tel quel depuis la passe de notation : score_only signifie que le nombre peut ordonner les travaux, et qu'aucune étiquette de catégorie n'en découleClassification
machine, non validéePrédiction automatique; un appel candidat d’une seule tête enseignante, pas un consensus.
Le détail, modèle par modèle et score par score, se trouve en fin de page sous « Comment cette classification a été obtenue ».