Direct Observation of Al Migration Enhancement by Changing the Al and N Source Relative Position in the Molecular Beam Epitaxy of AlGaN Nanowires
Notice bibliographique
Résumé
Aluminum (Al)-containing nitrides, including AlN, AlScN, and AlGaN, are emerging material platforms for future-generation photonic, electronic, ferroelectric, and multifunctional semiconductor devices. Nonetheless, the low Al migration mobility in a nitrogen environment is a notorious hindrance to obtaining high-quality Al-containing nitride epilayers. This is particularly the case for the epitaxy of Al-containing nitrides with radio frequency (RF) plasma-assisted molecular beam epitaxy (MBE), due to the use of relatively low substrate temperatures. As such, various approaches have been employed in promoting Al migration such as metal-modulated epitaxy (MME). Despite the progress, the effect of the relative position of the Al and N sources on the Al migration mobility has remained unclear. In this study, we show that MBE-grown AlGaN nanowires can be an effective probe to examine the effect of the Al and N source relative position on the Al migration mobility and demonstrate clearly that Al adatoms appear to be more mobile from the Al source that is far away from the N source, compared to those from the Al source that is near the N source. This study therefore can potentially impact the development of emerging Al-containing semiconductor devices by MBE. Moreover, the demonstrated correlated Al source dependent morphological and optical properties of AlGaN nanowires can naturally help the development of AlGaN-nanowire-based UV light-emitting diodes (LEDs) and lasers.
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Imitation des enseignantsNi prévalence calibrée, ni vérité terrain. Validation humaine à venir. Apprise à partir de 10 348 étiquettes directes de Codex et de 10 348 étiquettes directes de Gemma. Le mode candidate est l'union des têtes enseignantes seuillées; le consensus est leur intersection. Ces sorties portent le statut machine_predicted_unvalidated et ne sont ni des étiquettes humaines ni des étiquettes directes de modèles de pointe.
Scores Codex et Gemma par catégorie
| Catégorie | Codex | Gemma |
|---|---|---|
| Métarecherche | 0,001 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens strict) | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens large) | 0,000 | 0,000 |
| Bibliométrie | 0,000 | 0,000 |
| Études des sciences et des technologies | 0,000 | 0,000 |
| Communication savante | 0,000 | 0,000 |
| Science ouverte | 0,000 | 0,000 |
| Intégrité de la recherche | 0,000 | 0,000 |
| Charge utile insuffisante (le modèle a refusé de juger) | 0,000 | 0,000 |
Scores machine (provisoires)
Les deux têtes enseignantes du modèle étudiant, lues sur ce travail. Un score ordonne la base pour la relecture; il n'affirme jamais une catégorie, et le statut de validation accompagne chaque rangée tel quel.
Scores de référence d'un modèle non mature (critères de maturité non atteints, 7 itérations). Un score ordonne; il n'affirme jamais une catégorie.
score_only:v0-immature-baseline · tel quel depuis la passe de notation : score_only signifie que le nombre peut ordonner les travaux, et qu'aucune étiquette de catégorie n'en découleClassification
machine, non validéePrédiction automatique; un appel candidat d’une seule tête enseignante, pas un consensus.
Le détail, modèle par modèle et score par score, se trouve en fin de page sous « Comment cette classification a été obtenue ».