Effect of the HF Wave Frequency in the N-atom Production in N2 HF Plasmas: Application to CN Thin Films Deposition
Notice bibliographique
Résumé
Variations of N atom density have been measured by emission spectroscopy, calibrated using NO titration, in the N2 late and pink flowing afterglows as a function of the wave frequency f used to generate Surface Wave (SW) plasma. It is found that [N] increases with the absorbed power PA but saturates above a threshold power which decreases with f. At 2450 MHz and a constant pressure of 4 Torr, [N] reaches 1.5 x 1015 cm -3 in the saturation regime while a saturated value of only 7 x10 14 cm -3 is attained at 13.56 MHz. The density variations of [N] as a function of f and PA correlate in the increasing region with that of the vibrational temperature as a result of electron collisions and in the saturated region with the gas temperature when it exceeds 500-600 K. Finally, [N] increases with pressure from 2 to 8 Torr (at constant PA of 100 W) and decreases with the tube diameter (6 to 15 mm), at constant pressure of 4 Torr. These results show that the highest N-atom density is obtained at 2450 MHz. A source of N-atoms produced by such N2 afterglows was combined with laser ablation of graphite for CNX thin films deposition. The XPS and IR analysis of the films have shown that the presence of nitrogen atoms in the post-discharge enhances the incorporation of N into the CNx layers. The N incorporation increases as pressure is increased through the formation of hydrogenated carbon nitride groups while at low pressure of about 10-3Torr, unhydrogenated sp2 and sp3 CN bonds are produced in amorphous forms.
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Comment cette classification a été obtenuedéplier
Prédiction machine sur la base complète
Imitation des enseignantsNi prévalence calibrée, ni vérité terrain. Validation humaine à venir. Le volet Gemma est une étiquette directe du modèle pour chaque travail de la base, lue sur la notice réduite au titre. Le volet Codex est un classifieur appris des 10 348 étiquettes directes de Codex et calibré sur les taux pondérés de l'échantillon; les champs sans appui suffisant ne portent aucun appel Codex. Le mode candidate est l'union des deux volets; le consensus est leur intersection. Ces sorties portent le statut machine_predicted_unvalidated et ne sont pas des étiquettes humaines.
Scores du classifieur distillé par catégorie (deux têtes)
| Catégorie | Codex | Gemma |
|---|---|---|
| Métarecherche | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens strict) | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens large) | 0,000 | 0,000 |
| Bibliométrie | 0,000 | 0,000 |
| Études des sciences et des technologies | 0,000 | 0,000 |
| Communication savante | 0,000 | 0,000 |
| Science ouverte | 0,000 | 0,000 |
| Intégrité de la recherche | 0,000 | 0,000 |
| Charge utile insuffisante (le modèle a refusé de juger) | 0,001 | 0,000 |
Scores machine (provisoires)
Les deux têtes enseignantes du modèle étudiant, lues sur ce travail. Un score ordonne la base pour la relecture; il n'affirme jamais une catégorie, et le statut de validation accompagne chaque rangée tel quel.
Scores de référence d'un modèle non mature (critères de maturité non atteints, 7 itérations). Un score ordonne; il n'affirme jamais une catégorie.
score_only:v0-immature-baseline · tel quel depuis la passe de notation : score_only signifie que le nombre peut ordonner les travaux, et qu'aucune étiquette de catégorie n'en découleClassification
machine, non validéePrédiction automatique; un appel candidat d’une seule source (Gemma direct ou Codex distillé), pas un consensus.
Le détail, modèle par modèle et score par score, se trouve en fin de page sous « Comment cette classification a été obtenue ».