Selective Area Epitaxy of GaN Nanostructures: MBE Growth and Morphological Analysis
Notice bibliographique
Résumé
This work presents the selective area epitaxy of GaN nanostructures grown on Ga-polar GaN/sapphire substrates by plasma-assisted molecular beam epitaxy. We demonstrate three types of nanostructures, including nanowires, nanofins, and nanorings on GaN-on-sapphire templates as well as investigate the ways of controlling their morphology, and orientation of sidewall plus top facets. A range of growth conditions including low to high Ga flux were employed during selective area epitaxy to develop these nanostructures with homogenous geometry and near vertical and smooth sidewalls. Using appropriate growth conditions and mask patterning orientations, nonpolar nanofin grids containing both/either m -/ a -planes with as low as 260 nm fin width and up to six interconnects are demonstrated with smooth sidewalls. Based on these experimental results, we developed a growth model that takes different sidewall facets and orientations into account. The model generalizes the experimental results well and explains the growth conditions for the nanostructures. This study serves to advance the understanding of selective area epitaxy for defining complex III-nitride nanostructures that constitute an active area of research and development in the fields of nanotechnology and nanoscience.
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Comment cette classification a été obtenuedéplier
Prédiction distillée sur la base complète
Imitation des enseignantsNi prévalence calibrée, ni vérité terrain. Validation humaine à venir. Apprise à partir de 10 348 étiquettes directes de Codex et de 10 348 étiquettes directes de Gemma. Le mode candidate est l'union des têtes enseignantes seuillées; le consensus est leur intersection. Ces sorties portent le statut machine_predicted_unvalidated et ne sont ni des étiquettes humaines ni des étiquettes directes de modèles de pointe.
Scores Codex et Gemma par catégorie
| Catégorie | Codex | Gemma |
|---|---|---|
| Métarecherche | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens strict) | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens large) | 0,001 | 0,000 |
| Bibliométrie | 0,000 | 0,001 |
| Études des sciences et des technologies | 0,000 | 0,000 |
| Communication savante | 0,000 | 0,000 |
| Science ouverte | 0,000 | 0,000 |
| Intégrité de la recherche | 0,000 | 0,000 |
| Charge utile insuffisante (le modèle a refusé de juger) | 0,000 | 0,000 |
Scores machine (provisoires)
Les deux têtes enseignantes du modèle étudiant, lues sur ce travail. Un score ordonne la base pour la relecture; il n'affirme jamais une catégorie, et le statut de validation accompagne chaque rangée tel quel.
Scores de référence d'un modèle non mature (critères de maturité non atteints, 7 itérations). Un score ordonne; il n'affirme jamais une catégorie.
score_only:v0-immature-baseline · tel quel depuis la passe de notation : score_only signifie que le nombre peut ordonner les travaux, et qu'aucune étiquette de catégorie n'en découleClassification
machine, non validéePrédiction automatique; un appel candidat d’une seule tête enseignante, pas un consensus.
Le détail, modèle par modèle et score par score, se trouve en fin de page sous « Comment cette classification a été obtenue ».