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Enregistrement W4380680211 · doi:10.32920/23523378.v1

Development of FPCB (Flexible Printed Circuit Board) Mirror Technology

2023· preprint· en· W4380680211 sur OpenAlexaff
Hui Zuo

Notice bibliographique

Revuenon disponible
Typepreprint
Langueen
DomainePhysics and Astronomy
ThématiqueAdaptive optics and wavefront sensing
Établissements canadiensToronto Metropolitan University
Organismes subventionnairesnon disponible
Mots-clésWaferMicroelectromechanical systemsDeep reactive-ion etchingOpticsEtching (microfabrication)Materials sciencePhotolithographyAperture (computer memory)OptoelectronicsReactive-ion etchingNanotechnologyEngineeringLayer (electronics)PhysicsMechanical engineering

Résumé

récupéré en direct d'OpenAlex

<p>A low cost and large aperture scanning mirror with high surface quality is always highly desired. This is especially true for scanning LiDARs for autonomous vehicles. Polygon, galvanometer or MEMS mirrors can have a large aperture, but they are bulky, high power consumption and costly.</p> <p>This dissertation proposes a novel mirror technology for laser scanning, i.e., FPCB (flexible printed circuit board) masked one-step etching large aperture mirror, which simply etches a silicon wafer with a FPCB structure as the etching mask and the other side coated with a metal film as the etching stop layer and reflective surface. Meanwhile the FPCB structure embeds copper coils to generate Lorentz force to oscillate the mirror. The FPCB structure is fabricated using mature and commercially available FPCB process, which is 0.1 mm-resolution based photolithography, instead of 1 μm based photolithography micromachining used in traditional MEMS mirrors. In addition, only one-step DRIE etching is needed without requiring any critical alignment. Such that a low cost can be achieved, e.g., a few dollars per mirror. Moreover, the mirror plate is as thick as the silicon wafer (100~200 μm), which leads to a good flatness (ROC of 10~20 m). Prototypes are fabricated and tested. Achieved performances are: aperture of 12 x 12 mm and 24 x 24 mm, oscillation frequency from 160 Hz ~1 kHz, FOV (field of view) of 30o, 20o and 15o. A 2D and 3D scanning LiDARs based on this novel mirror technology are constructed.</p> <p>This dissertation also develops two electrostatic parallel plate based FPCB micromirrors with performance improved than the previously developed deigns in our group, e.g., FPCB ring-square electrode sandwiched micromirror and double-stage FPCB electrostatic micromirror. The improvements include: the rotation angle increased by 90%, the resonant frequency increased by 40-70%, and the performance variation reduced from 40% to 12%.</p> <p>A large aperture FPCB mirror and a 2D LiDAR based on it are developed with the following performances: aperture 25 x 50 mm, FOV of 60o, measurement distance 50 m, 500 points per frame.</p>

Récupéré en direct depuis OpenAlex et désinversé. Les résumés ne sont pas conservés dans cette base de données : les index inversés représentent 8,6 Go des 9,3 Go de texte de la base, et le serveur dispose de 13 Go libres.

Comment cette classification a été obtenuedéplier

Prédiction distillée sur la base complète

Imitation des enseignants

Ni prévalence calibrée, ni vérité terrain. Validation humaine à venir. Apprise à partir de 10 348 étiquettes directes de Codex et de 10 348 étiquettes directes de Gemma. Le mode candidate est l'union des têtes enseignantes seuillées; le consensus est leur intersection. Ces sorties portent le statut machine_predicted_unvalidated et ne sont ni des étiquettes humaines ni des étiquettes directes de modèles de pointe.

score de la tête « metaresearch » (Codex)0,000
score de la tête « metaresearch » (Gemma)0,000
Version: codex-gemma-dda1882f352aStatut de validation: machine_predicted_unvalidated
Catégories candidatesMéta-épidémiologie (sens strict)
Catégories consensuellesaucune
DomaineSignal candidat: aucune · Signal consensuel: aucune
Devis d'étudeSignal candidat: Théorique ou conceptuel · Signal consensuel: Théorique ou conceptuel
GenreSignal candidat: Empirique · Signal consensuel: Empirique
Score de désaccord entre enseignants0,381
Score d'incertitude au seuil1,000

Scores Codex et Gemma par catégorie

CatégorieCodexGemma
Métarecherche0,0000,000
Méta-épidémiologie (sens strict)0,0000,000
Méta-épidémiologie (sens large)0,0010,000
Bibliométrie0,0000,000
Études des sciences et des technologies0,0000,000
Communication savante0,0000,000
Science ouverte0,0000,001
Intégrité de la recherche0,0000,000
Charge utile insuffisante (le modèle a refusé de juger)0,0000,000

Scores machine (provisoires)

Les deux têtes enseignantes du modèle étudiant, lues sur ce travail. Un score ordonne la base pour la relecture; il n'affirme jamais une catégorie, et le statut de validation accompagne chaque rangée tel quel.

Scores de référence d'un modèle non mature (critères de maturité non atteints, 7 itérations). Un score ordonne; il n'affirme jamais une catégorie.

Tête enseignante Opus0,063
Tête enseignante GPT0,290
Écart entre enseignants0,227 · la distance entre les deux têtes enseignantes sur ce seul travail
Statut de validationscore_only:v0-immature-baseline · tel quel depuis la passe de notation : score_only signifie que le nombre peut ordonner les travaux, et qu'aucune étiquette de catégorie n'en découle

Classification

machine, non validée

Prédiction automatique; un appel candidat d’une seule tête enseignante, pas un consensus.

Devis d'étudeThéorique ou conceptuel
Domainenon disponible
GenreEmpirique

Le détail, modèle par modèle et score par score, se trouve en fin de page sous « Comment cette classification a été obtenue ».

En bref

Citations0
Publié2023
Routes d'admission1
Résumé présentoui

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