Ultra‐thin ALD CoO <sub> <i>x</i> </sub> ‐ZnO heterogenous films as highly sensitive and environmentally friendly H <sub>2</sub> S sensor
Pourquoi ce travail est dans la base
Une base qui oublie comment elle a trouvé un travail ne peut pas être vérifiée. Voici les voies qui ont admis celui-ci.
Notice bibliographique
Résumé
Abstract To obtain environmentally friendly, integrated and miniaturized gas sensors for the increasing request for the Internet of Things industry and other relative areas, the ultra‐thin CoO x /ZnO heterogeneous film with active interfacial sites was in‐situ deposited on micro‐electro‐mechanical systems (MEMS) as H 2 S sensor. Atomic layer deposition (ALD) was employed to in‐situ fabricate the uniform ZnO thin film. ALD CoO x was deposited on ZnO surface to obtain CoO x /ZnO heterojunction and active interfacial sites. The ultra‐thin film (20 nm) with 50 ALD CoO x decorated on 250 ALD ZnO displays excellent sensing performance, including very high response (4.45@200 × 10 −9 ) and selectivity to H 2 S with a limit of detection (LOD) of 0.38 × 10 −9 , long‐term sensing stability, high response/recovery performance (7.5 s/15.7 s) and mechanical strength at 230 °C. Reasons for the high sensing performance of CoO x /ZnO have been confirmed by series of characterizations and density functional theory (DFT) calculation. Heterojunction film thickness with Debye length, the oxygen vacancies and the synergistic effect of active interfacial sites are main reasons for the high sensing performance. The strategy by fabrication of CoO x /ZnO heterogeneous film within Debye length and employing synergistic effect of active interfacial sites offers a promising route for the design of environmentally friendly gas sensors. Furthermore, the ALD technique offers a facile in‐situ strategy and high‐throughput fabrication of MEMS gas sensors.
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Prédiction distillée sur la base complète
Imitation des enseignantsNi prévalence calibrée, ni vérité terrain. Validation humaine à venir. Apprise à partir de 10 348 étiquettes directes de Codex et de 10 348 étiquettes directes de Gemma. Le mode candidate est l'union des têtes enseignantes seuillées; le consensus est leur intersection. Ces sorties portent le statut machine_predicted_unvalidated et ne sont ni des étiquettes humaines ni des étiquettes directes de modèles de pointe.
Scores Codex et Gemma par catégorie
| Catégorie | Codex | Gemma |
|---|---|---|
| Métarecherche | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens strict) | 0,001 | 0,001 |
| Méta-épidémiologie (sens large) | 0,001 | 0,000 |
| Bibliométrie | 0,000 | 0,000 |
| Études des sciences et des technologies | 0,000 | 0,000 |
| Communication savante | 0,000 | 0,000 |
| Science ouverte | 0,000 | 0,000 |
| Intégrité de la recherche | 0,000 | 0,000 |
| Charge utile insuffisante (le modèle a refusé de juger) | 0,000 | 0,001 |
Scores machine (provisoires)
Les deux têtes enseignantes du modèle étudiant, lues sur ce travail. Un score ordonne la base pour la relecture; il n'affirme jamais une catégorie, et le statut de validation accompagne chaque rangée tel quel.
Scores de référence d'un modèle non mature (critères de maturité non atteints, 7 itérations). Un score ordonne; il n'affirme jamais une catégorie.
score_only:v0-immature-baseline · tel quel depuis la passe de notation : score_only signifie que le nombre peut ordonner les travaux, et qu'aucune étiquette de catégorie n'en découle